轻松实现超快速样品制备和高分辨表征.PDFVIP

上海百贺仪器科技有限公司 SHANGHAI BAHENS INSTRUMENTS CO., LTD. Addr.：BuildingA, 951Jianchuan Road, Minhang District, Shanghai Tel.：021-3358 7030 Fax.：021-3358 9826 Service call：400-099-6011 Http:// 轻松实现超快速样品制备和高分辨表征 当今半导体器件的物理故障分析已经成为一项极其复杂的任务，需要处理越来越小的 具有更高密度和更高功能的器件。一般来说，随着新纳米技术和纳米材料的发展以及 集成电路的设计和体系结构的日益复杂，这就需要高度可靠的分析平台，以跟上集成 电路、光电器件的发展。TESCAN S9000X是一个强大的采用氙等离子的FIB-SEM平台， 专门设计来应对这样的挑战。 上海百贺仪器科技有限公司 Tel.：021-3358 7030 Fax.：021-3358 9826 SHANGHAI BAHENS INSTRUMENTS CO., LTD. Service call：400-099-6011 规格外观如有变更，恕不另行通知 Http:// 1 上海百贺仪器科技有限公司 SHANGHAI BAHENS INSTRUMENTS CO., LTD. Addr.：BuildingA, 951Jianchuan Road, Minhang District, Shanghai Tel.：021-3358 7030 Fax.：021-3358 9826 Service call：400-099-6011 Http:// TESCAN S9000X是一款氙 （Xe）等离子超高分辨双束FIB-SEM系统，配置新颖的TriglavTM 超高分 辨率电子镜筒以及最新款的iFIB+TM离子镜筒，它的超高分辨表征能力和无与伦比的样品制备效率， 足以应对半导体和材料表征中最具挑战性的物理失效分析工作，实现大体积三维样品特性分析。 TESCANS9000X 是半导体和材料表征中最具挑战性的物理失效分析应用的平台，具有极高的精度和极 高的效率。 它不但提供了纳米尺寸结构分析所必需的高分辨率和表面灵敏度，为大体积 3D 样品特 性分析保证最佳条件。同时，它还提供非凡的 FIB 功能，可实现精确、无损的超大面积加工，包括 封装技术和光电器件的横截面加工。 S9000X Xe Plasma FIB-SEM主要优势： • 新的 Essence 软件的用户界面可实现更轻松、更快速、更流畅的操作，包括碰撞模型和可 定制的面向应用流程的布局； • 新一代 Triglav™ UHR SEM 镜筒具有极佳的分辨率，优化的镜筒内探测器系统在低束流能 量下具有卓越的性能； • 轴向探测器通过能量过滤器，可以接收不同能量的电子信号，增强表面敏感性； • 新型 iFIB+™ Xe 等离子 FIB 镜筒具有无与伦比的视野，可实现极大面积的截面加工； • 新一代 SEM 镜筒内探测器结合高溅射率 FIB，实现超快三维微分析； • 专利的气体增强腐蚀和加工工艺，尤为适合封装和 IC 去层应用； • 高精度压电驱动光阑，可实现 FIB 预设值之间的快速切换； • 新一代 FIB 镜筒具有 30 个光阑，可延长使用寿命，并最大限度地减少维护成本； • 半自动离子束斑优化向导，可轻松选择 FIB 铣削条件； • 专用的面向工作流程的 SW 模块、向导和工艺，可实现最大的吞吐量和易用性。 2 上海百贺仪器科技有限公司 SHANGHAI BAHENS INSTRUMENTS CO., LTD. Addr.：BuildingA, 951Jianchuan Road, Minhang District, Shanghai Tel.：021-3358 7030 Fax.：021-3358 9826 Service call：400-099-6011 Http:// 突出特点 •极高的吞吐量，适用于挑战性的大体积铣削