气体通过小孔和管道流动.pptVIP

真空系统的气载和极限真空 真空与过装教研室 2007年4月 1）漏气——“虚漏”俘获的气体、气体通过真空室材料小孔、裂缝，密封焊孔和黄铜材料，多孔材料等漏入气体。由漏率决定。 2）材料热出气——材料表面吸附的气体释放，物理吸附和化学吸附气体分子的解吸。 3）渗气——通过固体材料，多孔材料，玻璃等进入系统的气体。 4）在高真空和超高真空范围，泵的反流也是一种气载。通常理想情况下的泵总是排除气体，真实的泵总要返回部分气体。 真空系统的气载主要有三大部分组成： 1、系统的残余气体分子——有机物蒸汽、惰性气体; 2、材料平衡状态下的饱和蒸汽、材料升华气体 3、由下面原因产生或引起的气体载荷： 第四讲：气体流动 2.15真空系统的气载和极限真空 真空与过装教研室 2007年4月 高真空系统的极限气压通常仅取决于它的气载QG(上述气载3部分)和泵的有效抽速Seff。 最简单的真空系统是一个被抽容器的出口和一台泵的抽口，用流导为C 的真空管道直接连接起来，如果真空泵在其入口处的抽速为S0，则真空泵在容器出口处的有效抽速Seff 为： 上述方程为真空技术基本方程。从中可以看出，泵在被抽容器出口处产生的有效抽速Seff，比泵本身的抽速S0 和管道的流导C 都要小，因此要获得较大的抽速Seff，需合理地选配泵的抽速S0 和流导C。 第四讲：气体流动 本讲到此结束！ 谢谢！ 2007年4月 真空与过装教研室：王君 第四讲：气体流动 4.1 气体在管道中的流动（气体流动类型） 真空与过装教研室 气体在管道和小孔中的流动情况，是设计真空系统的重要问题。随着压强的降低，气体沿管道的流动状态可以有四种形式：湍流、粘滞流、粘滞-分子流和分子流。 湍流：当气体的压强和流速较高时，气体的流动是惯性力起作用，管路中每一点的压强和流速随时间不断变化。湍流一般在气体开始运动时才出现； 粘滞流：当气体压强较高同时流速较小时，气体的惯性力较小，内摩擦力起主要作用；管壁附近的气体几乎不流动，流速的最大值在管道中心，也称为层流； 分子流：管道压强很小，气体分子平均自由程远大于管径。气体的内摩擦已不存在，气体分子靠热运动自由而独立的离开管道； 粘滞-分子流：介于粘滞流和分子流之间的流动状态称为粘滞-分子流。 2007年4月 1 湍流 2湍-粘 3粘滞流 4粘滞流-分子流 5分子流 湍流发生在系统从大气开始抽气的阶段，持续时间很短，比较典型的特征是机械泵发出“突突”等比较沉闷的声音。流速大，存在漩涡，惯性力支配气体流动。 当压强和流速逐渐降低，流线有规律性，且随管道形状变化而变化，流动变成各部分具有不同速度的流动层，流速沿管道径向呈抛物线状分布,粘性力起作用,分子之间的碰撞 分子平均自由程与容器的尺寸相当，可以忽略分子之间的碰撞。 U=(P1-P2) (R2-r2)/(4ηL) 真空与过装教研室 第四讲：气体流动 4.2 气体流动的基本状态 第四讲：气体流动 2.12 气体在管道中的流动（流动情况判据） 真空与过装教研室 不同气体流动状态和气体的压强、流速、管道直径以及气体的粘滞性有关。雷诺综合考虑了这些因素，给出了雷诺数判据： 其中：U为气体流速；d为管道当量直径；ρ为气体密度；η为粘滞系数。 根据Re的大小，可对气体流动状态进行判断： Re2200——湍流；Re1200——粘滞流；2200Re1200——粘滞流-湍流。 对于分子流和粘滞流，可以用克奴曾数来判断： Kn0.01——粘滞流；Kn1——分子流；0.01Kn1——粘滞-分子流。 2007年4月 1 湍流 2湍-粘 3粘滞流 4粘滞流-分子流 5分子流 雷诺数（Re） Re2200, 湍流 Re1200, 粘滞流 克努曾数（λ/D） 25℃ 空气 雷诺数（Re） Q200D, 湍流 Q100D, 粘滞流 分子流 粘滞流 克努曾数（λ/D） 0.5Torr·cm 0.005Torr·cm 粘滞流 分子流 真空与过装教研室 第四讲：气体流动 4.2 气体流动的基本状态的判据 4.3 气体在管道中的流动（流动特性参量） 真空与过装教研室 在计算气体在管道中的流动特性时，常用以下参量进行表征： 　气体量Ｇ：流通气体压强和体积的乘积； 　流量Q：单位时间内通过给定截面的气体量；用来反映气体的强弱。 　流导C和流阻Ｗ：当气体流经具有压差的管孔时，压差和流量间的比例系数；流导和流阻为倒数关系。 2007年4月 第四讲：气体流动 流导与流阻、传输几率 真空与过装教研室 2007年4月 流量恒定关系（流量连续方程）：在稳定流动的状态下，单