2009热传导真空计.pptxVIP

图10-13 热传导真空计工作原理图QL-热丝引线热传导的热量散失；Qr-热丝辐射的热量散失；Qg-气体分子热传导的热量散失；r1-热丝半径；r2-管壁半径；L-热丝有效长度；T1-热丝中部温度；T2-管壁温度第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 热传导真空计的工作原理： 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 热传导真空规的热量散失：热丝引线单位时间热传导热量散失： λL：热丝热传导系数：Wm-1K-1 长度单位：m ，温度单位：K 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 热丝单位时间热辐射热量散失： 根据斯蒂芬-波尔兹曼定律 σ：斯蒂芬-波尔兹曼常数 σ=5.68×10-8，Wm-2K-4 ε1、ε2：热丝表面和管壳内表面的全辐射系数 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 气体分子单位时间热传导热量散失： 根据气体热传导理论，低压气体（分子流）单位时间的热传导热量损失： λg：自由分子导热系数： Wm-2Pa-1K-1 α1：气体在热丝表面的适应系数，在0.2-0.95间 p ：气体压力，Pa 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 根据热平衡定律，当达到热平衡时，在不存在对流的情况下，热丝通电时间产生的总热量Q应等于热丝引线热传导热量、热丝热辐射散失的热量和气体分子热传导散失的热量三者之和： K1,K2：常数。 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 该式表明当K1《K2，即QL+Qr《Qg时，总的热量散失与压力p有关，它表明在一定的加热条件下，可根据低压力气体分子热传导，即气体分子对热丝的冷却能力作为压力指示。这就是热传导真空计的基本工作原理。 热传导量与压力的关系第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 热丝温度的测量方法： 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 热丝温度的测量方法：热膨胀真空计：利用热丝随温度变化的热膨胀性质。用温度系数大的铂铱合金作敏感元件，连接标准弹簧指示热膨胀量。或采用双金属带（片）用自由端的转动或摆动指示热膨胀量。误差较大，使用不便。热电阻真空计：利用热丝电阻随温度变化热电偶真空计：利用热电偶测量热丝温 后两种是粗、低真空测量中使用最多的。 热传导量与压力的关系第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 热传导真空计测量范围：压力测量下限： 10-1—10-2Pa扩展：提高Qg，降低QL+Qr 热传导量与压力的关系第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 压力测量上限： 102Pa圆筒热传导理论：P22 热传导量与压力的关系第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 压力测量上限的扩展：热传导理论：P23适当提高热丝工作温度；采用细而短的热丝，增Kn改进热丝结构增Kn ；稳定热丝温度，减误差；103-104Pa热对流现象：P23强迫对流；自然对流0.1MPa 电阻真空计规管的结构1-电阻丝；2-管壳；3-引线第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 电阻真空计： 也称皮拉尼真空计，凭借热丝电阻的变化反映压力，主要由规管和测量电路组成，范围104-10-1Pa 电阻真空计规管的结构1-电阻丝；2-管壳；3-引线第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 电阻式规管：热丝：电阻温度系数较高的钨、铂、镍等制成，圆柱螺旋形。管壳：金属—耐用、拆卸热丝方便但密封性差、价格高；玻璃—密封性好、价格低但易损坏。为保证热丝工作的稳定性，除对热丝表面进行清理外，有时还在表面覆一层薄玻璃或石英以避免高压力下热丝被氧化和玷污，但这会增大其热惯性。 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 电阻真空计测量电路： 常采用惠氏电桥和文氏电桥，根据热丝电阻变化方法不同分三种模式定电压法：保持电桥两端电压不变，观察失平衡电流与压力关系。定电流法：保持热丝（或电桥）电流不变，看失平衡电流与压力关系定电阻法：即定温度法，压力变化时通过改变电桥电压保持电桥处于平衡状态，观察电桥电压与压力的关系。热丝电阻及温度基本为定值，热辐射及边杆导热均为定值。 常用的为： 定电压法 定温度法第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge 定电压型电阻真空计： 惠氏电桥；电压恒定；补偿管抵消环境温度变化； 由于各种气体导热系数不同，对不同气体的校