touchpanel双面sio2镀膜介绍.pptxVIP

Touch Panel 产品介绍背景：Touch Panel 产品是2007年伟光公司开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。构造：Touch Panel 产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。 F面SiO2F面ITO层玻璃R面ITOR面金属层R面ITO层双面SiO2镀膜前准备双面SiO2镀膜是Touch Panel产品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊性，需要用到两种特殊用品。镀膜特殊用品介绍：金属Mask及铜磁背板。 双面SiO2镀膜前准备金属Mask 金属MASK分两种，F面金属MASK间隔条为凹状，R面金属MASK间隔条为凹状双面SiO2镀膜前准备金属Mask F面金属MASKR面金属MASK双面SiO2镀膜前准备铜磁背板 铜磁背板没有镙孔面与玻璃基板接触双面SiO2镀膜作业将金属MASK置于对位台上，固定后打开真空吸附开关，将其吸附（注意F/R面MASK不要用错）双面SiO2镀膜作业将基板置于金属MASK上，必须避免基板在金属MASK上的滑动（注意基板待镀面朝下，大角与金属MASK错开）双面SiO2镀膜作业基板对位标金属MASK对位框OK手动对位NG双面SiO2镀膜作业在监视器上确认基板与金属MASK对位是否在规格内（基板上有四个“田”字型对位标，与金属MASK上对位方框对位）双面SiO2镀膜作业将铜磁背板置