三氯化铁蚀刻铜和铁的再生和控制方案.doc

三氯化铁蚀刻铜和铁的再生和控制 工艺流程 蚀刻废液的再生方法是将适量铁粉加入蚀刻废液，在一定条件下，首先将Fe3+还原成Fe2+，蚀刻废液过滤去除残余铁粉；在一定条件下再次加入一定量的铁粉，置换Cu2+，滤渣为铁铜混合物；含Fe2+的滤液经H2O2氧化后转化成纯度较高的三氯化铁溶液，经浓缩、组分调整后可实现蚀刻废液的再生．再生工艺流程下图所示。 实验步骤 三氯化铁蚀刻废液中Fe3+的还原 先检测三氯化铁蚀刻废液中Fe3+的含量，往废液中加入理论量1.2倍的铁粉，水浴加热至温度为60 ℃，还原反应时间为1 h，待反应结束后，再过滤得到含铜氯化亚铁溶液和没反应的铁粉。 蚀刻废液中Cu2+的置换 先检测蚀刻废液中Cu2+的含量，往废液中加入理论量2倍的铁粉，水浴加热温度为30-50 ℃，还原反应时间为1 h，待反应结束后，再过滤得到氯化亚铁溶液和置换出来的铜粉与没反应的铁粉混合物。 蚀刻废液氧化再生 往处理过的废液中加入废液体积1倍体积的35%H2O2和35%HCl的混合液（1:1）于100 ℃水浴条件下进行0.5 h小时的氧化反应，其中H2O2起到氧化Fe2+的作用，HCl的加入是确保废液体系维持一定的酸度，避免FeCl3水解反应的发生。最终处理废液经浓缩、酸度调整处理后可作为蚀刻液的补充循环使用。