薄膜物理合金及化学物蒸发.pptVIP

合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;三、特殊的蒸发法 ;电弧蒸发法是制备高熔点薄膜的一种较为简便的方法，它是 采用高熔点材料构成两个棒状电极，在高真空下通电使其发 生电弧放电，使接触部分达到高温进行蒸发。它是一种自加 热方法 ;优点：可蒸发包括高熔点金属在内的所有导电材料，可简单 快速制备无污染的薄膜，也不会引起由于蒸发源辐射 而造成基板温度升高的问题;热壁法是利用加热的石英管等 (热壁) 把蒸发分子或原子从蒸 发源导向基板，进而生成薄膜 ;;热壁法制备薄膜的优点 ;;3. 激光蒸发法 ;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;合金及化合物的蒸发;激光蒸发法的特点 ;第五节　分子束外延镀膜法;第五节　分子束外延镀膜法;分子束外延(Molecular beam epitaxy )是在超高真空条件下， 将薄膜诸组分元素的分子束流直接喷射到衬底表面，从而 在其上形成外延层的技术。从本质上讲，它属于物理气相沉 积的真空蒸发镀膜方法 ;分子束外延镀膜法;分子束外延镀膜法;分子束外延镀膜法;对衬底材料的要求： ;分子束外延镀膜法;分子束外延镀膜的特点： ;分子束外延镀膜法;真空蒸发镀膜法操