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六氟化硫新气微水含量的测定 1 测量目的 测定六氟化硫（ SF ）新气微水含量。 6 2 试验性质 交接试验。 3 对测量仪器的要求 3.1 用于气体中微量水分测量的仪器需要定期校验， 校验周期为一年。 -6 （体积比）。 3.2 电解式微量水分分析仪的测量范围应满足 0-1000×10 -6 在 30-1000×10 范围内的引用误差不得超过± 5 ％。 3.3 冷凝式露点水分测量仪和阻容式露点水分分析仪器测量露点范围 应满足 10—-60℃。测量误差： 10—-30℃，± 1.5℃；-30—-50 ℃，± 2.0℃；-50—-60℃，± 3.0℃； 4 测量方法 4. 1 电解法 4.1.1 气密性检查：测试系统所要接头处应无泄漏，否则会因空气中 的水分渗入导致测量结果偏高。 4.1.2 六氟化硫气体流量的标定：仪器的浮子流量计应用皂膜流量计 标定，要求标定 100mL/min 和 50mL/min 两点，标定过程中浮子应保 持稳定。 4.1.3 电解池的检查 4.1.3.1 电解池灵敏度的检查：将被测气体流量从 100mL/min 降到 50mL/min ，所得到的含水量应是初始值的一半，最大相对偏差为 10％。 4.1.3.2 取去电解池两端接线柱上的接线片，用万用表的 100 （Ω）档 于接线柱相接， 万用表的指针应从低阻值明显向高阻值变化， 否则需 要电解池需要清洗涂敷或更换。 4.1.4 电解池及测量仪器本底干燥：利用高纯氮气进行干燥，将控制 阀置于干燥档， 缓慢的打开测试流量阀， 以 20-50mL/min 的流量干燥 -6 电解池，为节约用气， 旁通流量可以关小， 至表头示值下降值 5 ×10 以下。 4.1.5 测量：将控制阀置于“测量位置” ，准确调节测试流量为 100mL/min ，直到仪器示值稳定后读数。该读数减去标底值为被测气 体中本底水分含量。 4.1.6 注意事项 4.1.6.1 因为含水量随压力降低而升高，所以分析产品时，应在接近 生产厂标明压力下取样。 4.1.6.2 连续测定含水量较高的气体，为延长电解池一次凃敷后的使 用时间，当不需要读数时，切换四通阀，让辅助气体吹洗电解池，需 要读数前约 20min 切换至被测气体， 呆示值稳定读数后， 又立刻切换 至辅助气体。 4.1.6.3 样品气体进入仪器前应平衡至室温，电解池内气体应接近大 气压力。 4.1.6.4 本底值将得越低越好，否则会增加分析结果得误差。 4.1.6.5 应避免在极干燥得气氛中长期吹洗电解池而使电解效率下 降。 4. 2 冷凝露点法：目前采用冷凝露点法露点仪一般采用半导体制冷和 光电测量原理。 4.2.1 测量系统、管路及接头等应无泄漏。 4.2.2 镜面污染的处理：当固体颗粒、污着物、油污等进入仪器，镜 面受污染时会引起测量底露点偏离。 此时可用涤绸沾无水乙醇或四氯 化碳轻轻擦洗镜面，再用干净底涤绸擦干净。 4.2.3 测量方法：采用光电测量的露点仪，测试时按照仪器说明书进 行操作，可直接测得露点值。 4.2.4 测量重复性：测量时，直到连续三次测试底露点值差不大于± 1.5℃ 4.2.5 计算：测量时可以采用带压测量或常压测量，一般情况下，普 遍采用常压测量， 测量时将仪器底排气阀门完全打开， 调节进气阀门， 控制流量在 40mL/min 左右，测量得到露点值，根据露点