触控面板黄光制程工艺全解.pdfVIP

. 触控面板制造工艺之黄光工艺流程全解 发布时间： 2014-8-22 作为目前电容式触摸屏最为主流的制造工艺，黄光制程一直备受 关注。技术发展到今天，已经拥有非常完善的工艺。本文将从黄光制 程的步骤入手，全面介绍制程中每个步骤及所需注意的事项。 1. PR 前清洗 A. 清洗： 指清除吸附在玻璃表面的各种有害杂质或油污。清洗方法是利用 各种化学浓剂 （KOH ）和有机浓剂与吸附在玻璃表面上的杂质及油污 发生化学反应和浓解作用， 或以磨刷喷洗等物理措施， 使杂质从玻璃 表面脱落，然后用大量的去离子水（ DI 水）冲洗，从而获得洁净的 玻璃表面。（风切是关键） B.干燥 ： 因经过清洗后的玻璃，表面沾有水或有机浓剂等清洗液。这样会 对后续工序造成不良影响， 特别是对后续光刻工艺会产生浮胶、 钻蚀、 图形不清晰等不良现象。 因此，清洗后的玻璃必须经过干燥处理。 目 前常采用的方法是烘干法， 而是利用高温烘烤， 使玻璃表面的水分气 化变为水蒸气而除去的过程， 此方法省时又省力。 但是如果水的纯度 不变，空气净化等不多或干燥机温度不够，玻璃表面残存的水分 虽 经气化为蒸气， 但在玻璃表面还会留下水珠， 这种水珠将直接影响后 续工序的产品质量。 资料 . C. 十槽清洗机 PR 清洗机制程参数设定 13 槽 KOH 溶液为 0.4~0.7N ，温度为 60 ±5℃，浸泡时间为 2~3min ／槽纯水溢流量为 0.5 ±0.2 ㎡／ n. KOH 溶度为 1.0N~1.6N, 温度为 40 ±5 ℃,喷洗压为 0.2~1.0kgf/c ㎡,传动速度为 3.0~4.5m/min, 磨刷转速为 85~95rpm, 压力为 0.2~1.0kg/c ㎡，纯 水温度为 40 ±5 ℃，干燥机 1.2.3 段温度为 110 ℃± 10℃。 注：玻璃清洗洁净度不够之改改善对策，适当加入少许 KOH 溶 液，改变 KOH ，溶液，经常擦拭风切口，喷洗等处，亦可调态清洗 机传动 速度，将传速度减慢。 2.PR 涂佈 光刻是一种图像复印和化学腐蚀相结合的，综合性的精密表面加 工技术。 光刻的目的就是按照产品的设计要求，在导电玻璃上覆盖感光 胶。 A. 光刻胶的配制 光刻胶的性能与光刻胶的配比有关。配比的选择原则是即要光刻 胶是有良好的抗蚀能力， 又要有较高的分辨率。 但两者往往是相互矛 盾的，不能同时达到。因此，必须根据不同的光刻对象和要求，选取 不同的配比。 光刻胶的配制应在暗室（洁净度较高的房间）中进行。 用量筒按配方比例将原胶及溶剂分别量好， 再将溶剂倒入原胶， 用玻 璃棒充分搅拌使之均匀混合， 通常刚配制好的光刻胶中必然还存在少 资料 . 量因态物质微粒未能完全溶解， 为把这部分未能溶解的固态物质微粒 滤除，我们一般采用自然沉淀法进行过滤。 B.涂层 为保证 ITO 层与光刻胶之间有良好的接触和粘附，清洗后的玻璃 应立即送光刻工序进行涂胶。 如果玻璃搁置较久或者光刻返工， 必须 重洗在涂胶