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第四章扫描电子显微镜与电子探针 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope--SEM）是继透射电子显微镜（TEM）之后发展起来的一种电子显微镜，成像原理与TEM完全不同，不用电磁透镜放大成像，是以类似电视摄影显像的方式，通过细聚焦电子束在样品表面扫描激发出的二次电子、背散射电子等各种物理信号来调制成像的显微分析技术。 第四章扫描电子显微镜与电子探针新式SEM的二次电子分辨率已达1 nm以下， 放大倍数可从数倍原位放大到20万倍； 景深大，可用于显微断口分析，不用复制样品； 现在SEM都与能谱(EDS)组合，可以进行成分分析。SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。 §4.1 扫描电子显微镜（SEM） (一) 电子束与固体样品的相互作用区 电子在样品中的扩散区：电子与固体样品的相互作用区。作用发生弹性散射和非弹性散射； 弹性散射使入射电子运动方向偏离初始的运动方向而引起电子在样品中的横向扩散。 非弹性散射不仅使入射电子改变运动方向，也使其能量不断衰减，直至被样品吸收，限制了入射电子在样品中的扩散范围。 §4.1 扫描电子显微镜（SEM） (一) 电子束与固体样品的相互作用区 电子与固体样品的相互作用区：散射过程中，电子在样品中穿透的深度和侧向扩散的范围。 相互作用区的形状、大小主要取决于作用区内样品元素的原子序数、入射