超精密定位理论及关键技术的研究_图文.docVIP

学位论文独创性声明 本人郑重声明： １、坚持以“求实、创新一的科学精神从事研究工作。 ２、本论文是我个人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果。 ３、本论文中除引文外，所有实验、数据和有关材料均是真实的。４、本论文中除引文和致谢的内容外，不包含其他人或其它机构已经发表或撰写过的研究成果。 ５、其他同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了声明并表示了谢意。 研究生签名：一型主量 Ｅｔ期：型翌：笙，丝 学位论文使用授权声明 本人完全了解南京师范大学有关保留、使用学位论文的规定，学校有权保留学位论文并向国家主管部门或其指定机构送交论文的电子版和纸质版；有权将学位论文用于非赢利目的的少量复制并允许论文进入学校图书馆被查阅：有权将学位论文的内容编入有关数据库进行检索；有权将学位论文的标题和摘要汇编出版。保密的学位论文在解密后适用本规定。 妒 研究生签名：型篁墨 日期：一叫?◇哆一 摘要摘要 【｜ＩＩＩＩＴＩｌｌｌｌｌｌｌｌＵｌＵｌ＼１７２６８１３ 精密定位技术是超精密加工、集成电路器件制造、电子产品组装线、生物工程及纳米技术等领域的关键性基础性技术，其技术涉及到激光理论、电子技术、精密机械、传感与测量、信息处理、计算机、伺服驱动、智能控制等多门学科，具有广泛的应用前景。 本文提出了利用激光莫尔信号进行高精度位置检测与控制的技术方法，应用物理光学和傅立叶光学理论，分析了双级光栅衍射时的相对位