压力传感器原理演示幻灯片.pptVIP

1 压力传感器原理简介 2 压力传感器技术原理 ? 机械式压力传感器： ? 液柱式包括水银柱和 U 型管，主要用于小 量程压力检测和压差检测，由于其简单可 靠和直观性， U 型压差计至今仍在工业控制 中得到广泛应用。但由于其无法直接得到 电信号，且量程较小，限制了其在工业自 动控制中的应用。 3 4 金属螺旋管压敏元件和机械读数法 ? 当弹性金属螺旋管内充满流体时，流体压力的改 变会造成螺旋管的形变，从而制成压力敏感元件， 所用金属螺旋管称为布尔登管。其一端固定，一 端在压力作用下可自由伸缩，如自由端在压力下 的位移由齿轮系统放大后，带动压力表指针转动。 ? 布尔登管压力计一般精度不高，最多只能到满量 程的 0.1% ，当被测压力在满量程下端时，误差更 大。同液柱式压力计，布尔登管也难以用于工业 自动控制系统。 5 6 弹性膜片压敏元件及其压力计 ? 弹性膜片是应用最广泛的压力敏感元件，不但机械式压力 传感器，也是各类电子式压力传感器的基础。 ? 在均匀压力的作用下，一个周边固定半径为 R 的圆形金属 膜片的中心点在垂直于膜片平面方向的凹凸变形量 Y0 ： ? Y 0 = ? E 为材料杨氏模量， v 为泊松比 7 为了进一步改善灵敏度和线性范围，膜片 可以设计成波纹状，下图 以上介绍的机械螺旋管、膜片和波纹鼓压 力敏感元件，配上机械传动的指针来显示 压力数值，其虽然可以直观地显示流体的 压力，但不能适应现代工业遥测和自动控 制的需要。 8 采用位移式传感器测量压力 ? 为了能将压力转换为电信号，机械式膜片 和波纹鼓动位移用电子位移传感器测出， 机械式压力计便成为可直接应用于现代工 业自动化系统中的电子类压力传感器。 ? 如可变电势差压力传感器，其测量电路简 单，信号无需放大，但其体积大，动态响 应差，接点易磨损。 9 可变电势差压力传感器 10 线 性 差 分 变 压 器 非 常 适 合 测 量微小的 位移 ， 可达亚微 米级 ， 灵 敏 度 极 高 ， 而 其 两 个 输 出 线 圈 构 成 一 个 差 分 信 号 检 测 电 路 ， 抗 干 扰 能 力 很 强 。 但 其 机 械 结 构 复 杂 ， 体 积 大 ， 动态响应差。 11 电容式压力传感器 ? 膜片电容压力传感器是两个相互电绝缘的 有一定导电性的极板组成，可看成一标准 的平行板电容器，其中一个电极板是可在 外加压力的作用下产生形变的弹性膜片， 另一个极板固定在传感器的外壳上不会在 压力作用下变形。当压力变化引起检测极 板变形改变压力电容器极板间距，进而引 起电容量变化来检测压力变化。 12 电容式绝对压力传感器 13 ? 膜片电容压力传感器也可设计成差分式， 以提高灵敏度，稳定性和抗干扰能力。压 敏膜片是公用的极板，另外两个极板固定， 膜片两方压力不同，膜片的变形导致一侧 电容增加，另一侧电容下降，两个压力电 容与另外两个外接电容组合成交流电桥， 可以非常灵敏的测量两个压力电容的差值。 14 硅微加工电容式压力传感器 ? 其体积小，集成度高，成本低，静态和动 态性能良好，可大批量制造。其以半导体 硅为基板，首先形成氧化硅或氮化硅绝缘 层，再形成一层金属薄膜电极。电极的上 方是绝缘的氧化硅或氮化硅围成的空腔， 空腔上口是单晶硅、多晶硅或氮化硅弹性 膜片，膜片上表面为薄膜金属电极层。目 前硅微加工电容式压力传感器是应用最为 普遍的压力传感器之一。 15 16 基于压阻应变片的压力传感器 ? 在现代各类原理的压力传感器中，以压阻应变片 为基础的压力传感器是应用最广泛的两种类型中 的一种（另一种既是电容式压力传感器），此两 类原理有可分为粘贴应变片式压力传感器、薄膜 应变片式压力传感器、硅压阻压力传感器、厚膜 压阻压力传感器、硅电容压力传感器、厚膜电容 压力传感器。 ? 各类应变片，如线绕式应变片、金属合金薄膜、 半导体厚膜或薄膜均可以和弹性膜片配合，制成 不同结构的压力传感器。 17 应变片技术原理 ? 以线体导电丝为例，设其长度为 L ，截面积为 A ，电阻率为 ρ ，其电阻值可表 示为 ? R= ? 当导电丝沿长度受到应力影响发生应变时，其长度、截面积、电阻率均会有 微小的改变，电阻也因而改变。 ? 压阻应变片一般是将压阻材料镀在绝缘材料极板上而成，对压阻材料的基本 要求如下： ? 线性度好，以便简化读出电路并提高检测精度； ? 灵敏度系数高，以便提高电信号的幅度，降低电路读出误差； ? 应变范围大，以便于增大应用范围； ? 电阻率高，以便减小应变传感器的尺寸并与测量电路相匹配（小电流）； ? 滞后效应低，以便传感器能有很好的重复性和良好的响应； ? 温度系数低，可简化温度补偿的设计； ? 温度范围大，可在各种环境温度下使用； ? 化学稳定性强，不受环境因素