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Peking Unive 1- Optical MEMS Peking Unive 2- Optical MEMS ? MEMS 发展回顾 ? 光纤通信中的应用 ? 光学研究和应用 ? 光数据存储 ? 其它应用 Peking Unive 3- MEMS 发展回顾 微电子机械系统 （ Micro Electro Mechanical Systems ，缩写为 MEMS ） 微系统 微机械 ? 欧洲和美国“微世界”的研究是由半导体工艺技 术启动，即带有机械的微电子技术，固称之为微 电子机械系统 (Micro Electro Mechanical Systems ， 美国惯用词 ) 或称之为微系统 (Microsystems ，欧洲 惯用词 ) 。 ? 日本实现“微世界”（ Micro World ）以系统方式 从机械电子 (Machatronics) 开始。固称之微型机械 (Micromachine ，日本惯用词 ) 。 Peking Unive 4- MEMS 发展回顾 ? 从广义上讲， MEMS 是指集微型传 感器、微型执行器以及信号处理 和控制电路，甚至接口电路、通 信和电源于一体的微型机电系统。 图 1 是一典型的 MEMS 示意图。由 传感器、信息处理单元。执行器 和通讯 / 接口单元等组成。其输 入是物理信号，通过传感器转换 为电信号，经过信号处理（模拟 的和 / 或数字的）后，由执行器 与外界作用。每一个微系统可以 采用数字或模拟信号（电、光、 磁等物理量）与其它微系统进行 通信。 MEMS 在航空航天、汽车、 工业、生物医学、信息通讯、环 境监控和军事等领域有着广阔的 应用前景。 模 拟 信 号 处 理 器 通讯 / 接口单元 传 感 器 执 行 器 力 数 字 信 号 处 理 器 模 拟 信 号 处 理 器 光、电、磁 光 声 温度 其它 运动 能力 信息 其它 信息处理单元 感测量 控制量 Peking Unive 5- MEMS 发展回顾 ? 1959 年就有科学家提出微型机械 的设想，但直到 1962 年才出现属 于微机械范畴的产品—硅微型压 力传感器。其后尺寸为 50 ～ 500 微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮 及联接件等微型机构相继问世。 而 1987 年由华裔留美学生冯龙生 等人研制出转子直径为 60 微米和 100 微米的硅微型静电电机，显 示出利用硅微加工工艺制作微小 可动结构并与集成电路兼容制造 微小系统的潜力，在国际上引起 轰动，科幻小说中描述把自己变 成小昆虫钻到别人的居室或心脏 中去的场景将要成为现实展现在 人们面前。同时，也标志着微电 子机械系统 (MEMS) 的诞生。 Peking Unive 6- MEMS 发展回顾 ? 近年来，随着微机电系统技术的不断成熟，其应用领域不断拓宽。 目前， MEMS 输出力矩小成为其发展的一个屏障。而光系统无需 力矩输出，由于通过微机电系统技术实现了可动结构，使得微机 电系统技术与微光学相结合而形成的微光机电系统（ Optical MEMS ）受到人们更大的关注。可移动结构对光系统来说是非常 诱人的，因为小的机械位移常常产生比传统光电或自由载流子效 应更强的物理效应。如，在干涉仪中 1/4 波长的位移能产生开 / 断 开关的作用。所以，自从微机电系统技术实现了可动结构以来， 微光机电系统为光学装置功能的扩展和光学系统的微型化提供了 空前的发展机会。当前，光学正处在与几十年前集成电路发明前 的电子学相同的阶段，其发展前景是非常诱人的。微光机电系统 在光学研究、数据存储、光纤通信、图象处理和传感系统等领域 中都有广泛的应用 。 Peking Unive 7- 光纤通信中的应用 ? 随着世界通信业务量的飞速增长，光传送 网技术已成为国际上的研究热点。据估计， 以光电子信息技术为主导的信息产业产值将 在 2019 年达五万亿美元，成为二十一世纪最 大的产业。 Peking Unive 8- ? 研究热点 随着世界通信业务量的飞速增长，光传送 网技术已成为国际上的研究热点。 （全光通信网、 WDM 全光网、光传送网是同一事物的不同名称，最 近 ITU 的建议是光传送网 optical transport network ）。 ? 趋势 九十年代初，在一些发达国家中，人们预计原 有的铜电缆会从 2019 年起逐渐被 FTTH （光纤到户） 代替。 2019 年这种趋势已被证实。但是，步子已经放 慢， 特别是光纤到户。 光传送网的推广，光纤到户能 否实现，取决于网络的价格， 只有价格到了可接受的 地步，才能真正进入家庭，光传送网中低价位光学元