化学品供应系统介绍全解.ppt

化学品供应系统介绍 ▲ 1 、化学品供应系统概述 ▲ 2 、系统的组成和配件介绍 ▲ 3 、化学品供应系统功能简介 ▲ 4 、系统的通讯和控制 ▲ 5 、系统的操作和维护 ▲ 6 、安全操作与注意事项 目录 本化学品供应系统共有 5 套及 VMB 9 个 ,TEE BOX 4 个 , 分别是 : 一 . 化学药液供应单元 1. HNO3 1000L 集中供酸装置 (2 个 ) 2. HF ： 1000L 集中供酸装置 (2 个 ) 3. KOH 1000L 集中供酸装置 4. HCL 1000L 集中供酸装置 5. H2SO4 1000L 集中供酸装置 二 :VMB( 阀箱 ) 1. HNO3 1 个 2. HF ： 1 个 3. KOH 1 个 4. HCL 1 个 5. H2SO4 1 个 三 :TEE-BOX( 三通阀箱 ) 1. HNO3 1 个 2. HF ： 1 个 3. KOH 1 个 4. HCL 1 个 1. 化学品供应系统概述 2. 系统的组成和配件介绍 本化学品供应系统由电力 / 通讯 / 排风 / 纯水 / 氮气 / 压缩空气等系统组成 . 化学品设备主要由下列配件组成 : ● PP 外壳 ● PUMP( 泵浦 ) ● 触摸屏 ● 真空表 ● 紧急按钮 ● PLC( 西门子 )/ 模块 ● 调压阀 ● 气动阀 ● 手动阀 ● 电磁阀 ● 液位侦测器 ● 泄漏侦测器 ● 水枪 / 氮气枪 PUMP INLET OUTLET CDA IN 工作压力范围 : Minimum 20 psi Maximum 100psi PUMP TYPE: Whiteknight PL-60 触摸屏 / 真空表 / 紧急按钮 指示灯 警报器 消音键 EMO 复位键 电源关 电源开 液位侦测器 / 气动阀 PARKER OMRON 泄漏侦测器 LEAK SENSOR PLC/ 模块 PLC S7-200 3. 化学品供应系统功能简介绍 4. 系统的通讯和控制 系统的通讯和控制分为内部和外部：内部即触摸屏和 PLC 的通讯连接 , 液位侦测 器 / 泄漏侦测器和 PLC 的通讯连接 . 电磁阀和 PLC 的通讯连接 .VMB 继电器和 PLC 的 通讯连接 . 外部通讯主要是 VMB 继电器及端子和 Tool 设备控制盘相连接 . 当 Tool 设备需要供液会发出 Demand 需液信号 ,VMB 继电器和 CDS 接收到信号 会通过 PLC 控制将化学品自动供应的 Tool 设备 . 5. 系统的操作和维护 详见操作说明书 ( 以下为酸桶更换步骤 ) 按下 POWEN ON 送电 设备红灯闪烁 按下 RESET 复位键 黄灯闪烁 STANDBY DRUM EMPTY 红灯闪烁 警报声响 按下 SILENCE 消音键 更换酸桶 更换完毕点击屏幕 “ 更换确认 ” 完毕 单 桶 更 换 步 骤