硅片过程检验培训 课件.pptVIP

1 硅片过程检验培训 2 目录： 1. 引言 2. 电池片过程检验标准 3. 过程检验作业指导书 3 ? 硅片检验主要分为三类： 1. 硅片来料检验 2. 电池片生产过程检验 3. 电池片出货检验 引言 4 ? 硅片来料检验设备： 引言 5 ? 硅片来料检验设备： 引言 6 ? 硅片来料检验目的： 保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格 品流入生产流程造成不必要的损失。 ( 确保合格的 产品提供给生产部门 ) 引言 7 ? 硅片来料检验主要项目： 1. 电学部分： 厚度 / 电阻率测试 少子寿命测试 引言 8 2. 光学部分： 几何尺寸 垂直性 硅片破裂（包括崩边、裂痕、 V 型缺口） 表面脏污 空洞和隐裂 引言 9 相关硅片实例： 引言 10 ? 电池片生产过程检验目的： 防止过程中出现批次性问题，避免不合格品流入 下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程 均满足规范要求，保证生产的稳定性及规范性， 保证产品效率及成品率。 引言 11 ? 电池片生产主要过程介绍： 引言 12 ? 电池片生产过程检验主要相关设备： 引言 13 主要分为以下几个控制点： 1. 前期准备工作检查 2. 制绒清洗后； 3. 扩散后； 4. 等离子刻蚀后； 5. 去磷硅玻璃清洗后； 6. PECVD 后； 7. 丝网烧结后； 8. 电池片性能测试分档后。 电池片过程检验标准 14 ? 前期准备工作检查： ? 设备开机检查，填写《巡检记录单》； ? 工艺参数监控：设备各参数达到工艺要求后进行 生产。 电池片过程检验标准 15 ? 各工序关键工艺参数： ? 制绒清洗： NaOH 、 Na 2 O 3 、 HF 、 HCL 溶液浓度， 溶液温度等。 ? 扩散：扩散温度，气体流量等。 ? 等离子刻蚀：射频功率，气体流量等。 电池片过程检验标准 16 ? 去磷硅玻璃： HF 溶液浓度等。 ? PECVD ：气体流量，微波源功率，沉积压力，工 艺温度等。 ? 丝网烧结：印刷压力，印刷速度，印刷网板间距 ，印刷方式，烧结各加热区温度等。 电池片过程检验标准 17 ? 制绒清洗后： ? 制绒后硅片外观：硅片表面制绒均匀，无点状亮 点 ? 硅片称重：清洗前后重量差在 0.6 ～ 0.7g 电池片过程检验标准 18 ? 扩散后： ? 方块电阻：测量范围在 40 ± 5 Ω/ □ ? 方阻均匀性：均匀性误差不大于± 5% 电池片过程检验标准 19 ? 等离子刻蚀后： ? 边缘电阻测量：测量范围在 30 ± 10k Ω ? 刻蚀痕迹（目测） 电池片过程检验标准 20 ? 去磷硅玻璃清洗后： ? 电池片外观：扩散面无明显发暗 ? 扩散面疏水性（目测） 电池片过程检验标准 21 ? PECVD 后： ? 工艺后外观检测：硅片镀膜面呈均匀蓝色（目测 ） ? 氮化硅膜的厚度、反射率、折射率 ? 片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性：不大于 ± 5% 电池片过程检验标准 22 ? 丝网烧结后： ? 印刷重量：正银为 0.10 g ± 0.02 g ； 背银为 0.12 g ± 0.02 g ； 背铝为 0.8 g ± 0.2 g ； ? 电池片外观：满足《成品电池片外观分选标准》 要求。 电池片过程检验标准 23 ? 电池片性能测试分档后： ? 标准片校准 ? 碎片记录 电池片过程检验标准 24 一、目的：防止制程中出现批次性问题， 避免不合格品流入下道工序。 二、范围：适用于产品生产过程有关的工序。 过程检验作业指导书 25 三、职责： ? 品控员负责对生产过程的监控，对生产工序的巡 查，将遇到的问题反馈给 PQC 工程师。 ? PQC 工程师负责品控员监督、巡检统计表的汇总 报告，以及协调生产部，工艺部和设备