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31 二、 二次电子像形貌衬度的应用 ( 一 ) 断口分析 3. 解理 ( 准解理 ) 断口 解理 ( 准解理 ) 断裂属于 脆性断裂 ,是断口 沿着解理面产生的穿 晶断裂 ,断口特征 见图 13-13 断口中存在许多台 阶,裂纹扩展过程 中台阶相互汇合, 形成 河流花样 图 13-13 a) 解理断口及 b) 准解理断口的形貌特征 第四节 表面形貌衬度原理及其应用 a) b) 32 二、 二次电子像形貌衬度的应用 ( 一 ) 断口分析 4. 纤维增强复合材料断口 图 13-14 所示为碳纤维增强陶瓷复合材料断口的二次电子 像。断口上大量的拔出而露头 的纤维,同时存在纤维拔出后 留下的孔洞 图 13-14 碳纤维增强陶瓷复合材料断口 第四节 表面形貌衬度原理及其应用 33 二、 二次电子像形貌衬度的应用 ( 二 ) 样品表面形貌观察 1. 烧结体自然表面 图 13-15 所示为 ZrO 2 -Y 2 O 3 陶瓷烧结自然表面的二次电子像 图 13-15 ZrO 2 -Y 2 O 3 陶瓷烧结自然表面 a) t-ZrO 2 b) c-ZrO 2 c) (c+t)ZrO 2 第四节 表面形貌衬度原理及其应用 c) 1 第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章 电子衍射 第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 第十二章 高分辨透射电子显微术 第十三章 扫描电子显微镜 第十四章 电子背散射衍射分析技术 第十五章 电子探针显微分析 第十六章 其他显微结构分析方法 2 ? 扫描电子显微镜的成像原理与透射电镜完全不同, 不是利 用电磁透镜聚焦成像, 而是利用细聚焦电子束在样品表面 扫描,用探测器接收被激发的各种物理信号调制成像 ? 目前,扫描电子显微镜二次电子像的分辨率已优于 3nm , 高性能的场发射枪扫描电子显微镜的分辨率已达到 1nm 左 右,相应的放大倍数可高达 30 万倍 ? 与光学显微镜相比, 扫描电子显微镜不仅图像分辨率高, 而且景深大,因此在断口分析方面显示出十分明显的优势 ? 扫描电子显微镜开始发展于 20 世纪 60 年代,随其性能不断 提高和功能逐渐完善, 目前在一台扫描电镜上可同时实现 组织形貌、微区成分和晶体结构的同位分析, 现已成为材 料科学等研究领域不可缺少的分析工具 第十三章 扫描电子显微镜 3 第十三章 扫描电子显微镜 本章主要内容 第一节 电子束与固体样品作用时产 生的信号 第二节 扫描电子显微镜的构造和工 作原理 第三节 扫描电子显微镜的主要性能 第四节 表面形貌衬度原理及其应用 第五节 原子序数衬度原理及其应用 4 第一节 电子束与样品相互作用产生的信号
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