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三种方法的对比 优选文档 * 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 * 初级课程的详细信息和/或课目/项目所需的书籍/资料。 * 有关可选的时间/目标阶段的日程设计。 * 介绍性注释。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 相关词汇表。 * 示例图形/图表。 * * ***** ********* *** 优选文档 * 目录： 介绍 过程 应用 未来前景 优选文档 * 介绍 纳米压印光刻（NIL）是制造纳米尺度图案的方法。?它是一种简单的纳米光刻工艺，具有成本低，产量高，分辨率高。?它通过压印抗蚀剂的机械变形和随后的工艺形成图案。?印记抗蚀剂通常是在印迹期间通过热或UV光固化的单体或聚合物制剂。?控制抗蚀剂和模板之间的粘合以允许适当的释放。 优选文档 * 分类 热塑性纳米压印光刻(T-NIL) 紫外纳米压印光刻(UV-NIL) 微接触印刷（μCP） 优选文档 * 热塑性纳米压印光刻（T-NIL） ? 在标准的T-NIL工艺中，将薄的抗蚀刻层（热塑性聚合物）,旋涂在样品基底上。?然后将具有预定义拓扑图案的模具与样品接触并将它们在一定压力下压在一起。?当加热到高于聚合物的玻璃化转变温度时，模具上的图案被压入软化的聚合物膜中。?冷却后，模具与样品分离，图案抗蚀剂留在基材上。?可以使用图案转移过程（?反应离子蚀刻?）将抗蚀剂中的图案转印到下面的基底。 优选文档 * T-NIL步骤 聚合物被加热到它的玻璃化温度以上。 施加压力 模压过程结束后 ,整个叠层被冷却到聚合物玻璃化温度以下 脱模。脱模时要小心 ,以防止用力过度而使 模具损伤。 说明：玻璃化温度，高聚物由高弹态转变为玻璃态的温度。 优选文档 * 紫外纳米压印光刻(UV-NIL) 流程如下：被单体涂覆的衬底和透明印章装载到对准机中 ,通过真空被固定在各自的卡盘中。当衬底和印章的光学对准完成后 ,开始接触。透过印章的紫外曝光促使压印区域的聚合物发生聚合和固化成型。接下来的工艺类似于热压工艺。 最近紫外压印一个新的发展是提出了步进 - 闪 光压印。步进 - 闪光压印发明于 Austin（奥斯丁）的 Texas 大 学 ,它可以达到 10 nm 的分辨率。工艺如下图所示 优选文档 * 目标和结果 石英印章接触压印 进行UV曝光 从基板分离印章 清除残留层 氧蚀剂蚀刻 优选文档 * 微接触印刷（μCP） 模板制备 生成PDMS压膜 压膜上墨 将压膜转移到承印物 直接接触 是软光刻技术的一种形式，通常使用PDMS模板上的凹凸图案压膜来在承印物的表面通过面接触形成油墨自组装单层膜的图案，就类似纳米转移印刷的情况 说明：PDMS,比例为10:1的硅橡胶和硅橡胶固化剂 优选文档 * 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 * 初级课程的详细信息和/或课目/项目所需的书籍/资料。 * 有关可选的时间/目标阶段的日程设计。 * 介绍性注释。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 课程的目标和预期结果，和/或通过学习培养的技能。 * 相关词汇表。 * 示例图形/图表。 * *