微系统的技术介绍.ppt

微系统概述 Contents 1、什么是微系统( MICROSYSTEMS 2、微系统相关技术基础 21、微电子技术( Microelectronics Technology) 22、射频与无线电技术( RF and Wireless Technologie 23、光学技术 Optical Technology) 24、MEMS技术( MEMS Technology) 3、什么是微系统封装( Micro System Packaging) 4、什么是微电子封装( Microelectronic Packaging) 5、微电子封装发展进程( Development 6、微系统封装技术的地位和作用(Role) 7、微系统封装中的技术挑战( The Challenge) 4/13/2020 1 What Is MICROSYSTEMS ◆微系统是以微电子技术、射频与无线电技术、光学(或光电子学) 技术、微机电系统(MEMS)等技术为核心,从系统工程的高度出 发,通过封封、互连等精细加工技术,在框架、基板等载体上制 造、装配、集成微小型化功能装置 ◆我们所讨论的微系统大量应用于信息工程领域,因此微系统也可 以称为信息工程微系统。 这些微系统包括计算器、个人电脑、移动电话、视频产品等消费 类电子产品,以及计算产品、通信产品、汽车、航空航天产品、 医疗电子等信息类产品,当今人类活动与技