薄膜太阳能电池及其对TCO薄膜要求.pptVIP

薄膜太阳能电池(非晶硅)  非晶硅薄膜电池生产 测试 光龙线机3 玻璃磨边机 磁控藏射银膜系统 (镀铝) 破请洗机 电池湖 封装 光划线机2 政光划线机1 主要却刻非晶硅a-si 主要戈刻氧化锡 532波长绿激光 04米被长红外激光 承载盒冷却炉 承载盒加温预热炉 PECVD真空沉积系统 主要进行沉积  超声波玻璃清洗机(重要设备) (镀膜前清洗) 工艺:洗的是膜表面上的污垢和灰尘及一 种高分子材料 ·要求:导电玻璃,不在生产线上用,速度越 快越好;离线使用,单面清洗;导电玻璃 最初清洗的材料是一种高分子材料(类似 塑料),清洗液可能是水,也可能是四氢 呋喃THF。  激光划线机1(重要设备) 第一道 激光划 玻璃 线 1064纳米波长的红外激光划刻氧化锡 工艺:这一步主要是划刻氧化锡,使用的1064纳 米波长的红外激光器 要求:刻蚀速度、激光源寿命、操作系统是否简 单且方便操作、 Dead area无用区域大小(三条 刻膜线总线宽)、划刻线宽、系统产能(MW年)  预热炉 工艺:加热导电玻璃  PECVD真空沉积系统,即等离子体 增强化学沉积(主要设备) 工艺:非晶硅pin镀膜 要求:电池转换率6%、生产效率、玻璃 基片型号资料、价格  冷却炉 ·工艺:对导电玻璃降温  激光划线机