可靠性试验简介 .pptVIP

* HTRB HTRB: High Temperature Reverse Bias（高温反相偏压试验） Purpose: To evaluate the endurance of devices when they are submitted to electrical and thermal stress over and extended time period. 目的：评估器件在电和温度作用下的持久能力 Reference: JESD22-A108 150℃/ 80%Vdsmax * ESD test Electrostatic Discharge (ESD，静电放电) is a single-event, rapid transfer of electrostatic charge between two objects, usually resulting when two objects at different potentials come into direct contact with each other. ESD是通过直接接触或电场感应等潜在引起的不同静电在物(人)体间的非常快速的电荷转移的一个强电流现象 它会破坏或损害半导体器件而导致其电性能退化及损害. IC ESD Model （ESD模式） HBM (Human Body Model，人体模式) MM (Machine Model，设备模式) CDM (Charged Device Model，器件放电模式) * HBM：Human Body Model (人体模式） 人体模式ESD测试：模拟人体上的静电直接释放到ESD敏感元器件的ESD现象 Reference: JESD22-A114, MIL-STD-883 Method 3015 HBM ESD * MM：Machine Model （设备模式） 设备模式ESD测试：模拟机器设备，工作夹具或其他工具上的静电快速释放到ESD敏感元器件的ESD现象 Reference: JESD22-A115 MM ESD * CDM：Charged Device Mode （器件放电模式）. 器件放电模式ESD测试：带静电元器件上的静电向低电压物体释放的现象 Reference: JESD22-C101 CDM ESD 可靠性试验介绍 * 纲领 可靠性定义 可靠性 Vs 质量 浴盆曲线 可靠性试验 可靠性试验目的 可靠性试验分类 AOS 可靠性试验类型 HTS （High Temperature Storage 高温储存试验） HTGB (High Temperature Gtae Bias 高温Gate偏压试验） HTRB (High Temperature Reverse Bias 高温反相偏压试验） * 接上页 ESD Test （Electrostatic Discharge 静电放电测试） HBM ESD （Human Body Model 人体模式） MM ESD （Machine Model 设备模式） CDM ESD （Charged Device Model 器件放电模式） Precon （Precondition 预处理） Delamination Type （分层类型） PCT （Pressure Cooking Test 压力蒸煮试验） TC （Temperature Cycling 温度循环试验） HAST (Highly Accelerated Stress Test 高压加速寿命试验） AOS可靠性试验设备 * 可靠性定义 Reliability: The ability of a device to conform to its electrical and visual/mechanical specifications over a specified period of time under specified conditions at a specified confidence level. 可靠性：产品在规定的条件下，规定的时间内完成规定功能的能力 * 可靠性 Vs 质量 可靠性: 衡量器件寿命期望值，也就是说可以通过可靠性结果计算器件需要多久持续满足规范要求。 质量：衡量器件在当前是否满足规定的标准要求。 * 失效率 (1/time) Useful Life 可用时期 Wear out 老化 Infant Mortality 初期失效率 时间 ) ( ) ( 短时间可靠性试验 (Burn-In) 长时间可靠性试验 (Reliability stress test) 浴盆曲线 Random failure 随机