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电子化学品性能要求及生产技术 电子化学品的质量规格及标准 电子化学品的质量标准的演变 为了能够规范世界超净高纯试剂的标准， SEMI （Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体设备和材料协会）于 1975 年成立了 SEMI 化学试剂标准化委员会， 专门制定、规范超净高纯试剂的国际统一标准 —SEMI 标准。 1978 年，德国的伊默克公司也制定了 MOS 标准。两种标准对超净高纯化学品中金属杂质 和（尘埃）微粒的要求各有侧重，分别适用于不同级别 IC 的制作要求。 国际上公认的电子化学品的标准大致可分为四类：一类是以 SEMI 为基础的美国试剂标 准；一类是以德国 E.Merck 标准为主的欧洲试剂标准；一类是以日本关东化学（ Kanto）公司、 和光纯药工业（ Wako ）公司的湿电子化学品为代表的日本试剂标准；另一类则是以 REA 公司 为代表的俄罗斯试剂标准。 ULSI 在全球的快速发展使得这些标准的指标有逐步接近的趋势， 但 SEMI 标准更早取得世界范围内的普遍认可。 目前世界及我国的电子化学品产品通常执行 SEMI 国际标准，其关键技术指标包括单项金 属离子，单项阴离子，颗粒数等，另外根据不同产品特点会相应增加其它一些技术指标。 电子化学品 SEMI 标准 进入 21 世纪，国际 SEMI 标准化组织又根据电子化学品在世界范围内的实际发展情况对 原有的分类体系进行了归并， 按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括 多个用于不同工艺技术的等级。表 2-1 列出了 IC 制造的不同线宽对湿电子化学品 SEMI 国际 标准等级的要求。 表 2-1 电子化学品 SEMI 国际标准等级 IC 线宽 金属杂质 控制粒径 颗粒 SEMI 等级 （μm） 10-9 （μm） （个/Ml ） C1 （Grade1 ） 1.2 ≤ 1000 （1ppm ） ≤ 1.0 ≤25 C7 （Grade2 ） 0.8～ 1.2 ≤ 10 （10ppb ） ≤ 0.5 ≤25 C8 （Grade3 ） 0.2～ 0.6 ≤ 1.0 （1ppb ） ≤ 0.5 ≤5 C12 （Grade4 ） 0.09～ 0.2 ≤0.1 （0.1ppb ） ≤ 0.2 从表 2-1 中可以看出，对应集成电路不同技术水平，所需要电子化学品的标 准越高，纯度和洁净度的要求也就越高。如果给电子化学品分级别或档次的话， 那么用于≥ 1.2 μm属于低档产品 （需采用SEMI C1 等级的湿电子化学品） ，0.8～ 1.2 μm属于中低档产品（需采用 SEMI C7 等级的电子化学品）， 0.2～0.6 μm属 于中高档产品（需采用 SEMI C8 等级的电子化学品）。 0.09～0.2 μm和 0.09 μm 则属于高档产品 （需采用SEMI C12 等级的电子化学品） ，其中≥ 1.2 μm和 0.8～ 1.2 μm的硅片主要用于制作分立器件； 0.2～0.6 μm和 0.09～0.2 μm的硅片主要用 于大规模集成电路和超大规模集成电路制造中。 可以看出，电子化学品制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗 粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求， 需从多个方面同时进行保障， 包括试 剂的提纯、包装、供应系统及分析方法等。目前，国际上普