超高分辨率场发射扫描电子显显微镜JSM7800F介绍.pptVIP

JEOL 超高分辨率场发射扫描电子显微镜 JSM-7800F介绍 号号  JSM7800F的特长 Point. l 浸没式肖特基电子枪 大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年) Point. 2 超级混合式物镜:SH ①超高分辨率(1.2nm@1kV→选配功能0.8 nm@lkv) ②最适合于观察磁性材料和EBSD分析(样品附近没有磁场泄漏) oint 用新型探测器过滤电子能量 自由选择来自样品表面的信息 Global Solutions Provider for Advanced Technology EOL  JSM7800F的特长 Point. l 浸没式肖特基电子枪 大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年) Point. 1 浸没式肖特基电子枪 大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年) oint 用新型探测器过滤电子能量 自由选择来自样品表面的信息 Global Solutions Provider for Advanced Technology EOL  浸没式肖特基场发射电子枪 传统的电子枪一 浸没式肖特基电子枪 电子枪 透镜磁场 聚光镜 电子束 电子枪和聚光镜一体化 能高效利用电子枪发出的电子 电流量约10倍 bright (C)JEOL Ltd, All Right Global Solutions Provider for Advanced Technology EOL  浸没式肖特基场发射电子枪 传统的电子枪 JEOL Only 探针电流是传统型的10倍以上 因此最适合于EDS分析等 聚光镜 JEOL Onl 能高效率地利用电子束 长寿命的发射体保证3年  用浸没式肖特基场发射电子枪进行 快速分析 〈应用实例〉 1.可进行高通量的EDS分析 可进行高空间分辨率的EDS分析 6 Copyright (C) JEOL Ltd, All Rights Reserved. Global Solutions Provider for Advanced Technology dEOL  应用实例1.高通量的EDS分析 彩色面分布 样品:贴片电容截面 JEOL Only 测试倍率:x10,000 加速电压:5kV 测试时间60秒 探针电流:50nA (实时) 3.0m SEI →30um 330m o3.0 um 用定性图谱的测试时间可进行元素面分布 用低加速电压可在短时间内进行高空间分辨率的元素面分布测试 I Copyright (C) JEOL Ltd, All Rights Reserved. Global Solutions Provider for Advanced Technology JEOL  应用实例2.高空间分辨率的EDS分析 样品:IC截面定量面分布(重量% 测试倍率:x22,000加速电压:6kV探针电流:8nA 能将N和Ti分离获取元素面分布图 cOpyright (C) JEoL Ltd, All Rights Reserved. dEOL  应用实例2.高空间分辨率的EDS分析 OKI 000 5720% 电流:8nA 能获得数百纳米的细微结构 的彩色面分布图 减少电流量 提高空间分辨率,能进行 100纳米级清晰的面分布测试 9 Copyright(C) JEOL Ltd, All Right Solutions Provider for Advanced Technology JEOL  JSM7800F的特长 Point. l 浸没式肖特基场发射电子枪 大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年) Point. 2 超级混合式物镜:SH ①超高分辨率(1kV1.2nm→选配功能0.8 melky) ②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析(样品附近没有磁场) 用新型探测器过滤电子能量 自由选择来自样品表面的信息 Global Solutions Provider for Advanced Technology EOL