基于准无衍射超分辨光束照明的超分辨光学显微技术.pdf

中文摘要 摘 要 光学显微镜自问世以来，就被广泛应用于生物医学、药学、微生物学、冶金 学等科研及工业领域，推动了这些领域的发展。然而传统光学显微系统受衍射效 应制约，分辨率无法突破衍射极限。长期以来，突破衍射极限、实现超分辨光学 显微一直是光学领域研究的热点之一。现有的超分辨光学显微技术可按工作距离 分为近场与远场，近场显微技术的工作距离往往为几十纳米甚至更小，实际应用 中非常受限。而现有的远场显微技术通常为荧光标记显微技术，需要对样品进行 前处理，存在光毒性等问题。本文提出一种基于准无衍射超分辨光束照明的超分 辨光学显微技术，实现对样品的非标记远场超分辨显微成像，具有巨大的应用前 景。 本文的主要工作如下： （1） 介绍超分辨显微技术研究背景、应用前景及国内外研究现状，进而分 析现有超分辨显微技术的特点，提出本文研究目标与研究内容。 （2 ） 介绍点扩展函数基本概念，并以此概念解释衍射极限，简要介绍共聚 焦显微系统和归一化矢量角谱压缩理论。 （3 ） 介绍二值相位型聚焦器件透射函数，将归一化矢量角谱压缩理论应用 于菲涅尔波带片设计，分别对工作波长为632.8nm 和405nm 的超分辨聚焦器件进 行了设计。并对设计器件进行仿真计算，结果表明工作波长为 632.8nm 的超分辨 器件焦距为224λ 、焦深为100λ，最小半高全宽为0.4λ ；而工作波长为405nm 的超 分辨器件，焦距为314λ 、焦深为144λ，最小半高全宽为0.39λ.。 （4 ） 介绍基于准无衍射超分辨光束照明的超分辨光学显微系统工作原理， 划分光路模块，并设计整体机械框架，同时介绍所用上位机软件主要模块和图像 重建过程。搭建超分辨显微系统，首先分别对工作波长为632.8nm 和405nm 的超 分辨聚焦器件性能进行测试。工作波长为632.8nm 的超分辨器件得到焦距224λ 、 焦深 92λ 的光针，最小半高全宽0.4 1λ ；工作波长为 405nm 超分辨器件得到焦距 313λ 、焦深59λ 的光针，最小半高全宽0.43λ 。 （5 ） 最后对亚波长金属光栅样品进行显微成像，在632.8nm 和405nm 波长 下分别实现了分辨率为0.28λ （180nm）和0.32λ （130nm）的超分辨显微成像。 关键词：超衍射，超振荡，准无衍射，远场超分辨显微 I 英文摘要 ABSTRACT Optical microscope has been widely used in scientific research and industrial areas since its invention, such as biomedicine, pharmacy, microbiology, metallurgy and so on. However, a traditional optical microscope is restricted by diffraction effects, and it cannot achieve image resolution beyond the diffraction limit. Therefore, breaking the diffraction limit and achieving super-resolution optical microscopy has been a research hotspot in recent years. The existing super-resolution optical microscopy technique can be divided into near- field and far-field according to the working distance. The ultra-short working distance restrict s the a