第三讲体硅加工.pdfVIP

第四讲：体硅加工―― 1 多晶硅有很多优点，也有非常系统深入的研究积累，但是， 人们经常费力地刻蚀单晶硅以获得硅膜： 选择单晶硅作为 MEMS 的结构材料的主要因素： 1． 基于 IC 技术的基础，硅提供了集成制造的可能性 2 ． 对单晶硅各种性质特别是物理特性的研究非常透彻 3 ． 硅相关的技术和设备可以借用 IC 工业的积累 4 ． 没有那一种高纯度的单晶材料能够拥有像硅材料这样 高的性价比，并且可以大批量廉价提供。 5 ． 单晶硅的许多重要特性非常适合作为微结构材料。 除了 精细结构成型加工特性之外， 它的机械特性、 压阻效应、 结构稳定性等也是吸引人的优点 600 度以下不会蠕变， 除非破裂， 否则会回复固有形状。 硅的物理特性 单晶晶体结构 立方晶体， 金刚石结构