单层膜的反射系数.docxVIP

2.3光学薄膜 光学薄膜 在透明的平整玻璃基片或金属光滑 表面上，用物理或化学方法涂敷的透明介质薄膜。 作用：满足不同光学系统对反射率和透射率的不 同要求。 會2.3光学薄膜 2.3.1光学薄膜的反射特性 2.3.2干涉滤光片 一、单层膜 在玻璃基片的光滑表面上镀上一层折射率和厚度都 均匀的透明介质薄膜。 :勢)2?3?1光学薄膜的反射特性 、单层膜 类似于平行平板的多光束干涉，单层膜的反射系数: r = ^ = ^^=\r\e 儿一薄膜上表面的反射系数 1 —Re尸2—薄膜下表面的反射系数 1 —Re 0—相邻两个出射光束间的相位差 ttf = l-r2 ttf = l-r2 r2 = r2 = R 、单层膜 存（1 一斤 2 存（1 一斤 2）sin 0 斤（1 + 才）+ 耳（1 + 才）CO S0 则单层膜的反射率R Eg Eg 斤2 +才+2仍COS0 1 +斤嚴 +2“cos0 亠、单层膜 当光束正入射到薄膜上时，薄膜两表面的反射系数: 反射率R 反射率R :脚） :脚）2?3?1光学薄膜的反射特性 ?、单层膜 介质膜反射率R随光学厚度gh的变化 02.3.1光学薄膜的反射特性一、单层膜 02.3.1光学薄膜的反射特性 ① ?!=/10 或死 1=〃2时，R = Rq~ 4.3% ■m当 且 〃1血=A/4 时，R= Rrn9有最好的增透效果。:小反射率为Rin韧2-? ■m 当 且 〃1血=A/4 时，R= Rrn9 有最好的增透效果。 :小反射率为 R in 韧2-?八 5o+?2 /n2 ) 特别nx - J〃o〃2时，心=（） 完全增透。 6 5 6 5 :脚）2?3?1光学薄膜的反射特性 ?、单层膜 ???????? A/r)m 单层氟化镁膜的反射率随波长和入射角的变化 W3?0 ?2.3.1光学薄膜的反射特性 0. 3 、单层膜 0.051 0?040?03 6 02 p????????$ ，?? ?? MV — I I ,一 w- 2. 0 M-一 ?i = l. 7 巾7 DU. 5 V—刃七I. 4 O.01 H 人 T T 光束斜入射到薄膜上时，薄膜上表面的反射系数： E0/5 M] co s°[ - n E0/5 M] co s°[ - n0 co SO。 ? cos。] +n0 cos。。 n() + nx 5 nQ+nx._ EQfp _ n{ cos。。一 n0 cosQ _ cosQ cos% 1/? E/p ? cos9o+〃ocosq ? nQ+nx COS0[ COS^o s分量以Tl代替〃 cos 3 p分量以n代替n/cos 0 则形式上与正入射时的表达式相同，帀称为有效折射率。 一、单层膜 心〃2时，RR。，反射率比未镀膜时增大，即该单层 膜具有增反的作用，称为增反膜。 九_坷2/込丫 严° +尤/?当nx n2且〃上二如厶时，R=Rm 九_坷2/込丫 严° +尤/? Rm( 2、2 Rm ^n0n2 + 1 丿 三丿尽管Rm与Rm形式上相同，但因幻取值不同，对应的 反射率—个是最大，一个是最小。 三丿 一、单层膜 对于衍方=如2的半波长膜，不管膜层折射率比基片折 射率大还是小，单层膜对；lo的反射率都和未镀膜时的基 片反射率相同，1? = 4.3%,即 这说明，对于波长几的光，膜层厚度增加（或减小）如2, 对反射率没有影响。 :勢）2?3?1光学薄膜的反射特性 H LHrLH Awrhn 厶 H厶 H LHrLH Awrhn 厶 H厶 G A/4膜系示意图 二、多层膜 1 ?结构 采用光学厚度均为2/4的高 折射率膜层和低折射率膜层— —称为如4膜系，通常采用符号 表示为 GHLHLH …LHA = G(HL)P HA p = 1，2,3,… :勢）2?3?1光学薄膜的反射特性 :、多层膜 A J4膜系—— 每层膜的光学厚度是如4,其优点是计算和 制备工艺简单，镀制时容易釆用极值法进行监控；缺点是 层数多，7?不能连续改变。 非如4膜系——每层膜的光学厚度不是如4,具体厚度要 由计算确定。其优点是只要较少膜层就能达到所需要的反 射率，缺点是计算和制备工艺较复杂。 只讨论如4膜系。 02.3.1光学薄膜的反射特性 02.3.1光学薄膜的反射特性 二、多层膜 2?反射率R （膜系的反射率） 高反射膜反射率的一般计算十分复杂，对于；V4膜 系，由于膜层光学厚度已经选定，可以简单地釆用等效 折射率法，把一个多层膜的问题变成单层膜的问题。 二、多层膜 （1）单层的A/4膜等效折射率（空气到玻璃） ?o A 等效于 wi二 等效界面 wi 二 等效界面 勺（等效折射率） 把单层膜系看成是具有折射率为也的一个“新基片”, 勺为等效折射率。“新基片”与弘的新界面称为等效面