光栅尺原理演示幻灯片.ppt

一、光栅尺 1 ? 直线透射式光栅 ? 1. 组成 ? 由标尺光栅和光栅读数头两部分组成，光栅读数头包括光源、透镜、 光电元件、指示光栅等。如图所示。 ? 标尺光栅和指示光栅也可称为长光栅和短光栅，它们的线纹密度相等。 长光栅可安装在机床的固定部件上（如机床床身），其长度应等于工 作台的全行程；短光栅长度较短，随光栅读数头安装在机床的移动部 件上。 光栅位置检测装置的组成 1 — 光源 2 — 透镜 3 — 标尺光栅 4 — 指示光栅 5 — 光电元件 2 ? 2. 工作原理 ? 在测量时，长短两光栅尺面相互平行地重叠在一起，并保持 0.01 至 0.1mm 的间隙，指示光栅相对标尺光栅在自身平面内旋转一个 微小的角度 θ 。当光线平行照射光栅时，由于光的透射和衍射效 应，在与两光栅线纹夹角 θ 的平分线相垂直的方向上，会出现明 暗交替、间隔相等的粗条纹 —— 莫尔条纹，如图所示。 ? 两条暗带或明带之间的距离称为莫尔条 纹的间距 B ，若光栅的栅距为 W ，则 ? 因为 θ 很小，则 ? 由此可见，莫尔条纹的间距与光栅的栅 距成正比。 2 sin 2 ? W B ? ? W B ? 3 莫尔条纹具有如下特点： （ 1 ） 由上式可知，莫尔条纹的间距 B 是光栅栅距 W 的 1/θ ，由于 θ 很 小（小于 10′ ），故 B ＞＞ W ，即莫尔条纹具有放大作用。例如，当 栅距为 W=0.01 ㎜， θ=0.001rad 时，莫尔条纹的间距 B=10 ㎜。因此， 不需要经过复杂的光学系统，就能把光栅的栅距转换成放大了 1000 倍的莫尔条纹的宽度，从而大大简化了电子放大线路，这是光栅技 术独有的特点。 4 （ 2 ）起均化误差作用 莫尔条纹由若干线纹组成，若光电元件接受长度为 10 ㎜，当 W=0.01 ㎜时， 10 ㎜宽的莫尔条纹就由 1000 条线纹组成，因此，制 造上的间距误差（或缺陷），只会影响千分之几的光电效果。所以， 莫尔条纹测量长度时，决定其精度的不是一条线纹，而是一组线纹 的平均效应。 5 （ 3 ）莫尔条纹的变化规律 长短两光栅相对移动一个栅距 W ，莫尔条纹移动一个条 纹间距 B ，即光栅某一固定点的光强按明 → 暗 → 明规律 交替变化一次。光电元件只要读出移动的莫尔条纹条纹 数，就知道光栅移动了多少栅距，从而也就知道了运动 部件的准确位移量。 6 3. 光栅的辨向与信号处理 ? 在移动过程中，经过光栅的光线，其光强呈正（余）弦函数变 化，反映莫尔条纹的移动的光信号由光电元件接收转换成近似 正（余）弦函数的电压信号 ; ? 经信号处理装置整形、放大及微分处理后，即可输出与检测位 移成比例的脉冲信号。 ? 为了既能计数，又能判别工作台移动的方向，光栅用了 4 个光 电元件。每个光电元件相距四分之一栅距（ W/4 ）。 当指示光栅相对标尺光栅移动时，莫尔条纹通过各个光电元件 的时间不一样，光电元件的电信号虽然波形一样，但相位相差 1/4 周期。根据各光电元件输出信号的相位关系，就可确定指示光栅 移动的方向。 7 光栅的特点 1. 有很高的检测精度。现在光栅的精度可达微米级，再 经细分电路可以达到 0.1 微米。 2. 响应速度较快，可实现动态测量，易于实现检测及数 据处理的自动化控制。 3. 对使用环境要求高，怕油污、灰尘及振动。 4. 由于标尺光栅一般较长，故安装、维护困难，成本高。 8