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研究报告 ?评级看好首次目录产业创新驱动成长壁垒:技术为本,服务为纲 空间:产能东进,需求提升 格局:外资强势,本土崛起展望:业绩稳健,协同共赢01制度创新增添红利制度创新加速特气产品国产化 注册制包容性带来的政策红利02气体类资产估值变化00气体类资产备受资本青睐。其中特气类资产估值中枢由2019年上半年的50倍PE提升至当前的平均近100倍PE,空分类资产估值中枢由2019年上半年不到20倍的PE提升至当前30倍以上。部分特种气体上市公司估值(PE)变化空分气体上市公司估值(PE)变化3507030060250502004015030100205010002019-04-022019-05-022019-06-022019-07-022019-08-022019-09-022019-10-022019-11-022019-12-022020-01-022020-02-022020-03-022020-04-022020-05-022020-06-022020-07-022020-08-022020-09-022019-01-022019-02-022019-03-022019-02-022019-03-022019-04-022019-05-022019-07-022019-08-022019-09-022019-10-022019-11-022019-12-022020-01-022020-02-022020-03-022020-04-022020-05-022020-06-022019-01-022019-06-022020-07-022020-08-022020-09-02XXXX杭氧股份华特气体金宏气体雅克科技南大光电凯美特气资料来源:Wind,长江证券研究所01产业创新驱动成长壁垒 · 空间 · 格局 · 展望气体:工业的“血液”00需求+创新引领气体需求与时俱进20世纪以来市场对气体需求的变化1950s1910-1940s1960s乙炔、氧气氮气(惰气)市场需求市场需求市场需求 氧气焊接、切割石油精炼应用领域应用领域应用领域 高炉用气铁路、造船行业石化、电子行业行业 钢铁、造船1970s-1980s1990s2000s氧气、氮气、氩气、氙气、 氪气、氖气、甲硅烷氢气、氮气市场需求市场需求电子材料气体市场需求氢能源电池、低碳新能源、 医疗设备离子束切割、特种钢铁除杂、火箭燃料应用领域应用领域LEDs、LCDs、 半导体应用领域半导体、有色/黑色金属、 航空航天移动手机、能源、医疗、工程行业行业资料来源:大阳日酸公司公告,长江证券研究所气体:工业的“血液”00特种气体为工业气体的重要分支,其中电子半导体为特种气体的重要市场2018年中国特种气体下游细分领域占比电子特种气体为工业气体的重要分支医疗环保10%其他10%电子半导体41%化工39%资料来源:前瞻产业研究院,长江证券研究所气体:工业的“血液”00半导体晶圆制造产业链梳理及对应国内典型公司EDAIP半导体设备制造整机厂商IC制造IC设计封装测试半导体材料、化学品掩模制造硅晶圆溅射靶材CMP抛光材料光刻胶光罩材料电子特气电子化学品江丰电子 有研亿金……北京科华 苏州瑞红……国 内 主 要 厂 商上海安集 苏州观胜 江丰电子 湖北鼎龙……台湾合晶 金瑞泓 上海新昇 上海新傲 重庆超硅 天津中环 北京有研……路维光电 菲利华 硅宇石英……浙江凯圣 湖北兴福 江化微 江化剂 苏州晶瑞……华特气体 昊华科技 南大光电 派瑞特气 绿菱气体……资料来源:长江证券研究所气体:工业的“血液”00半导体电子特气应用于沉积、光刻、刻蚀、热处理、掺杂等晶圆制造的各个环节。主要的气体大类为氟碳类(刻蚀、清洗为主)、单质类(稀释,绝缘, 氧化)、掺杂类(砷烷、磷烷等)、光刻类(惰性气体混合气)、CVD类(硅烷、锗烷等)等。半导体晶圆制造各环节用到的特种气体及对应工艺资料来源:长江证券研究所壁垒:技术为本,服务为纲01技术壁垒。半导体电子特种气体在生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,每一步均有严格的技术参 数要求和质量控制措施,保证“超纯超净”。认证壁垒。验证周期长(审厂+产品验证,大约2-3年),试错成本高(产品出现问题对于整条产线影响重大),原有供应商稳定。服务壁垒。需要投入大量人力物力进行铺点建设,不断扩大营销服务网络,以满足下游客户对气体种类、响应速度、服务质量的高要求。气体下游客 户需要的服务则包括包装容器处理、检测、维修及供气系统的设计、安装乃至气体供应商的配送服务等。过程中要做好规范的变更管理、钢瓶管理、 持续的质量监控,保证异常时数据的可追溯性以及处理异常事件的能力。芯片线宽越小,对电子特气所含杂质容忍度越低芯片尺寸(英寸) 线宽
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