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- 2020-10-02 发布于北京
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第9章 新型传感器 本章学习的主要内容有:1.光纤传感器的原理与应用;2.红外线传感器的原理与应用; 3.超声波传感器的原理与应用; 4.激光传感器的原理与应用; 9.1 光纤传感器 光导纤维传感器(简称光纤传感器)是七十年代迅速发展起来的一种新型传感器。光纤传感器具有灵敏度高,不受电磁波干扰,传输频带宽,绝缘性能好,耐水抗腐蚀性好,体积小,柔软等优点。目前已研制出多种光纤传感器,可用于位移、速度、加速度、液位、压力、流量、振动、水声、温度、电压、电流;磁场、核辐射等方面的测量。应用前景十分广阔。 9.1.1 光纤传感器的基础知识 9.1.1.1 光纤传感器的工作原理 图9.1.1是光纤的结构示意图。它由导光的芯体玻璃(称为纤芯)和包层玻璃所组成。 设纤芯的折射率为n1,包层的折射率为 (其典型值是n1=1.46~1.51,n2 =1.44~1.50),且n1 n2。当光线从空气(折射率为n0)中射入光纤的一个端面,并与其轴线的夹角为θ0,则在光纤内折射成角θ0的光线B,然后光线B以φ1 (φ1=90°-φ1)角入射到纤芯与包层的交界面上。由于纤芯与包层的折射率不等(即n1n2),光线B的一部分光被反射,成为反射光D;另一部分光折射成为折射光C。这时入射光线与折射光线应满足 :n1sinφ1 = n2sinφ2 (9-1-1)由于n1 n2,当φ1为某值时,可使φ2=90°,即折射光沿界面传播,此现象称为全反射。使φ2=90°的φ1角称为临界角,以φ0表示。由式(7-1)可知(因sinφ2=1),其临界角为 (9-1-2)即 例如:n1=1.51,n2=1.48,则φ0=87.2若继续加大入射角φ1,(即φ1≥φ2),光不再产生折射,而形成了光的全反射,光线被限制在纤芯中传播。于是式(9-1-2)为 (9-1-3)这就是光纤传光的基本工作原理。在实际应用中,更关心的是光线以多大角度入射光纤端面时,能使折射光完全在纤芯中传播,即如图9.1.1所示中,φ0角为何值时方能使φ1≥φ2。当光线在A点(空气中,其折射率为n1)入射,则有 (9-1-4)式中θ1=90°-φ1 纤芯与包层的折射率差值越大,数值孔径就越大,光纤的集光能力越强。以上我们讨论光纤的传光原理时,忽略了光在传播过程中的各项损耗。实际上入射于光纤中的光,存在有损耗(如费涅耳反射损耗、光吸收损耗、全反射损耗、弯曲损耗等),其中一部分光在传播途中就损失了,因此光纤不可能百分之百地将入射光的能量传播出去。 9.1.1.2 光纤传感器的类型 光纤传感器按其作用一般分为物性型(或称功能型)和结构型(或称非功能型)两大类。 物性型光纤传感器的光纤不仅起传光作用,同时又是敏感元件,即是利用被测物理量直接或间接对光纤中传送光的光强(振幅)、相位、偏振态、波长等进行调制而构成的一类传感器。其中有光强调制型、光相位调制型、光偏振调制型等。制造这类传感器的技术难度大,结构复杂,调整较困难。 结构型光纤传感器中光纤不是敏感元件,只是作为传光元件。这种传感器常用数值孔径和芯径较大的光纤。结构型光纤传感器结构简单、可靠,技术上易实现,但灵敏度、测量精度一般低于物性型光纤传感器。 光纤传感器一般由光源、光纤、光电元件等组成。根据光纤传感器的用途和光纤的类型,对光源一般要提出功率和调制的要求。常用的光源有激光二极管和发光二极管。激光二极管具有亮度高,易调制,尺寸小等优点。而发光二极管具有结构简单和温度对发射功率影响小等优点。除此之外,还有采用白炽灯等作光源。 9.1.2 光纤传感器的应用9.1.2.1 物性型的光纤微弯曲式传感器 光纤微弯传感器的光功率是维持在光纤内部的,这样可以免除周围环境污染的影响,适宜在恶劣环境中使用。另外还有灵敏度高、结构简单、动态范围宽、线性度较好,性能稳定等优点。9.1.2.2 结构型的传输光光纤传感器 在光纤本身不是敏感元件的结构型光纤传感器中,主要依据敏感元件对光强的调制。该传感器是通过半导体光吸收片吸收光的能量,对传输光的光强进行调制,如下图所示。9.1.2.3 nxSensor-I型三维激光扫描传感器 1.工作原理 如下图所示,该传感器是激光技术、电子成像和数字信号处理等学科的完美结合。是测量物体表面坐标的同类产品中最为先进的。与其他传统的激光器件或传感器不同,nxSensor-I不需在计算机中插入内置板卡,而是通过嵌入式的DSP技术和软件自动处理图象并直接实时的产生3D坐标。基于USB的即插即用的特性使得nxSensor-I可以非常容易的工作在PC和其它系统中。 三维激光扫描传感器工作流程 2.性能参数:传感器型号: nxSensor-I行程: 170mm完整测量范围:-70(z) x 60mm(y)(far end) ~ + 5
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