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电容式传感器 1 2020/4/11 2 目录 一、电容式传感器的工作原理及分类 四、电容式传感器的研究现状 三、电容式传感器在应用中的注意事项 二、电容式传感器的测量电路 2020/4/11 3 一、电容式传感器的工作原理及分类 由物理学可知，两块平行金属板构成的电容器，其电容量 C 为 0 A C ?? ? ? 2020/4/11 4 总得来说，电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量 变化的器件 ? ? 当被测参数（如位移、压力等）使公式中的 、 A 、 变化时，都将引起 电容器电容量 C 的变化，从而达到从被测参数到电容的变换。 A C ? ? ? ? ? ? 被测量 电容式传感器 、 或 变化 电容 变化 测量电路 电压、电流、频率 其测量原理可表示为： 2020/4/11 5 ? ? 通常我们限定 、 A 、 三个参数中的两个保持不变，只改变其 中的一个参数，使电容产生变化，所以电容式传感器可分为： 极距变化型，面积变化型，介质变化型三类。 2020/4/11 6 1.1 极距变化型电容传感器 0 A ? ? 电容器的极板面积为 ，初始极距为 ，极板间介质的介电常数为 电容器的初始电容量为 0 0 A C ? ? ? 0 ? ? ? ? 间隙 减小 时，电容量增加 C ，即 0 0 0 0 1 1 A C C C C ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 0 0 0 1 C C ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2 3 0 0 0 0 0 0 1+ + + + + n C C ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? L 2020/4/11 7 ? ? ? 由上式可知，被测参数引起的极距变化 与电容的变化 C 之间的关系 是非线性的，由非线性引起的误差为 2 3 0 0 0 = + + + n ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? L 0 0 0 C C ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? = 当 1 时，可略去高次项，即 = ，此时可认为是线性的。 ? ? 0 / ? ? ? 也就是说，在 很小时，才有近似的线性输出。 0 2 0 0 C C A S ? ? ? ? ? ? ? ? ? 灵敏度 2020/4/11 8 极距变化型电容传感器的特点：动态特性好，灵 敏度和精度较高（可达纳米级），适用于较小位 移的精密测量，一般用来测量微小的线位移或由 于力、压力、振动等引起的极距变化。 2020/4/11 9 1.2 面积变化型电容传感器 1.2.1 直线位移型 当动板沿 x 方向移动时，相互覆盖面积发生了变化，电容量随 之改变，其输出特性为： bx C ? ? ? b x ? 其中， 为极板宽度， 为位移， 为极板间距。 C b S x ? ? ? ? ? ? ? 灵敏度 常数 ? 由上式可知，面积变化型线位移传感器的输出 C 与其输入 （极板覆盖面积的改变）呈线性关系。 2020/4/11 10 1.2.2 角位移型 当动板转动一角度时，与定板之间的覆盖面积就发生 变化，导致电容量随之改变。 覆盖面积 2 2 r A ? ? r ? 其中， 为覆盖面积对应的中心角， 为极板半径。 所以，电容量为 2 2 r C ?? ? ? 2 2 C r S ? ? ? ? ? ? ? ? 灵敏度 常数 ? ? ? 由上式可知，角位移型电容传感器的输出 C 与输入 也为线性关系。 2020/4/11 11 虽然面积变化型电容传感器在理想情况下灵敏度为常 数，不存在非线性误差，但实际上因为电场边缘效应 的影响仍存在一定的非线性误差，且灵敏度较低。 面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。 2020/4/11 12 1.3 介质变化型电容传感 器 1 2 C 对于图所示的液位测量用介质变化型 电容传感器，传感器的总电容 等于 上、下两部分电容 C 和 C 的并联，即 ? ? 0 0 1 2 2 2 ln ln x l h l C C C a bh D D d d ?? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 0 2 1 = ln x C S b D h d ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 灵敏度 常数 C h C h 由上式可知，这种传感器的灵敏度为常数，电容 理论上与液位 成线性关系，只要测出传感器电容 的大小，就可得到液位 的值。 介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定