MOCVD设备结构及维护[参考].pptVIP

系统组成 因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。 一般系统组成： 加热系统，冷却系统，气体运输系统及尾气处理系统，控制系统。 * 精品ppt·实用可编辑 * 精品ppt·实用可编辑 二.反应腔介绍 由于反应腔对外延生长非常重要，所以目前市面上主要的反应腔设计为以下四种： 1.近耦合喷淋设计（AIXTRON TS系列） * 精品ppt·实用可编辑 2.三层式气体喷嘴设计（AIXTRON G系列） * 精品ppt·实用可编辑 3.旋转式反应腔（Veeco） 注： 旋转式反应腔,是一种带有旋转盘的立式反应腔。衬底片放置在高速旋转的盘上并被加热到合适的生长温度，反应物在初始阶段因高速旋转盘的牵引力被竖直向下地泵入,然后偏斜形成一个与衬底片托盘平行的流动区域，可以使反应物获得最佳的反应条件。 * 精品ppt·实用可编辑 4.双气流反应腔（日亚） * 精品ppt·实用可编辑 因为我们公司主要生产机台为AIXTRON TS机台和G5机台，所以针对TS和G5由我和王明军作一个简单的反应腔介绍。 TS 近耦合喷淋反应腔 A Thermocouple B Tungsten heater C Gas inlet D Showerhead E Reactor lid F Optical probe G Showerhead water cooling H Double O-ring seal I Susceptor J Water cooled chamber K Quartz liner L Susceptor support M Exhaust * 精品ppt·实用可编辑 Upper plenum: Feeds the group III elements using metal organics Lower plenum: Feeds the group V elements using hydride gases such as NH3 or AsH3 A Showerhead Cap B Showerhead Body C Upper plenum D Lower plenum E Water cooling Showerhead * 精品ppt·实用可编辑 Tungsten heater ? Zone A: Center ? Zone B: Middle ? Zone C: Outside * 精品ppt·实用可编辑 Temperature control unit A Eurotherm controller B Thermocouple in the center of the heater coils * 精品ppt·实用可编辑 * 精品ppt·实用可编辑 三.TS机台气体运输系统 气体输运系统的作用为向反应室输送各种反应气体。该系统要能够精确的控制反应气体的浓度、流量、流速以及不同气体送入的时间和前后顺序，从而按设计好的工艺方案生长特定组分和结构的外延层。气体输运系统包括源供给系统，Run/Vent 主管路，吹扫管路，检漏管路和尾气处理系统。 * 精品ppt·实用可编辑 Gas symbols diagram * 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 * 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品ppt·实用可编辑 精品p