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SEMI S2半导体制程设备安全准则 2003年9月29日 Content: 1.目的；2.范围；3.注意事项；4.参考标准；5,术语；6.安全理念；7. 一般准 则；8.评估过程； 9.提供给使用者的文件；10,危险性警告标志；11,安全 连锁装置；12,紧急停机；13,电气安全；14,消防安全；15,化学物质加热槽；16,人体 工学；17,危险能量隔离；18,机械设计安全；19,地震保护；20,自动机械设备；21,环 境因素；22,排气；23,化学品安全；24,游离辐射安全；25,非游离辐射安全；26,激光安 全；27,噪音 目的(PURPOSE) 为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。 范围(SCOPE) 适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。 注意事项(LIMITATIONS) 不可作为检验是否符合本地法规要求的依据； 没有提供非常详细的半导体制程设备 ESH准则； 参考了众多的国际性法规、标准等。但只是被引用的条文适用于此标准，并不是被引用的 标准或法规等所有条文都适用。 参考标准(REFERENCED STANDARDS) SEMI Standards ANSI Standards (Radio Frequency) CEN/CENELEC Standards (Explosion) IEC Standards (Electrical) ISO