压力传感器原理及称重衡器设计实验仪--修改20181015 (2).docVIP

PAGE 8 压力传感器变换特性研究及数字式称重衡器设计 【实验目的】 1). 了解压力传感器的基本原理。 2). 掌握分析压力传感器压力—电压变换特性的基本理论。 3). 学习测定压力传感器压力—电压变换灵敏度的实验方法。 4). 了解7107模数转换电路数的基本原理及其在非电量数字仪表设计中的应用。 【实验仪器】 悬臂梁应变式电阻压力传感器、差分放大电路、双斜式模数转换电路、砝码、数字万用表。 【实验原理】 一、悬臂梁应变式电阻压力传感器的结构及工作原理 图1 悬臂梁应变式电阻压力传感器机械结构示意图 悬臂梁应变式电阻压力传感器的机械结构的示意图如图1(a)示。其中A是由铝合金制成的双孔悬臂梁，其一端固定、另一端处于自由状态。当悬臂梁的自由端受力F作用而弯曲时，悬臂梁的上表面受拉，发生拉伸应变；而其下表面受压，产生压缩应变。定性的分析可知，在X坐标相同情况下，这些应变的最大值发生在双孔上弧线顶部和下弧线底部附近表面处。在负载一定时，改变孔径可以改变最大应变值。图1(a)中的R1、R2、R3和R4是紧贴在悬臂梁上、下表面最大应变处的电阻应变片。它们是由金属电阻敏感栅、基底、粘和剂、引线、盖片等组成的电阻元件（如图2示）。图2中L称应变片的标距或称工作基长，b称应变片的工作宽度。b×L称应变片的使用面积。应变片的规格一般以使用面积和电阻 图2 电阻应变片的结构示意图（1—电阻丝 2—基片 3—覆盖层 4—引出线） 值来表示，比如3×10平方毫米，350欧姆。敏感栅是由直径约0.01～0.05毫米的电阻丝按栅状形式弯曲而成的电阻元件，它是感受构件应变的敏感部分。用粘和剂把敏感栅固定在基片上。为了保证将悬臂梁上的应变准确地传递到敏感栅上，基片的底部必须做得很薄，一般为0.03～0.06毫米。另外基底还应有良好的绝缘性、抗潮性和耐热性。引出线一般由0.1～0.2毫米低阻镀锡铜丝制成，并与敏感栅两输出端相焊接。盖片起保护作用。粘贴时，应变片的标距方向（即图2中L的标注方向），应顺着悬臂梁发生最大应变的方向。所以，当悬臂梁受力F作用而弯曲时，电阻应变片也要发生机械变形，在承受机械变形过程中，其电阻率、长度和截面都要发生变化，从而导致其电阻发生变化。悬臂梁的上表面受拉，电阻应变片R1、R3的电阻值增大；悬臂梁的下表面受压，电阻应变片R2、R4电阻值减小。 把粘贴在悬臂梁表面上述四个位置处的四个电阻应变片按图(b)示的方式，连接成一个桥式电路。在加载时阻值增加的电阻应变片应与阻值减少的电阻应变片在电路中应互为相邻桥臂。在F=0时，如果四个电阻应变片的阻值相等，电桥输出对角线的输出电压为零；F不为零时输出电压就与F成正比（在F变化的一定范围内）。这就是悬臂梁电阻应变片压力传感器的工作原理。 假设F=0时，R1和R2，R3和R4的阻值均为R。加载时，悬臂梁的上表面受拉，电阻应变片R1、R3电阻增大，悬臂梁的下表面受压，电阻应变片R2、R4电阻减小。也即： R1=R+ΔR1; R3=R+ΔR3; R2=R-ΔR2; R4=R-ΔR4 由于应变片R1和R2离悬臂梁受力点的横向距离与应变片R3和R4离悬臂梁受力点的横向距离不一样，加载时它们所处位置的悬臂梁表面的应力及其相应的应变状态也不完全一样，所以各桥臂电阻的变化量稍有不同。假设： ，， 则图1(b)示电桥的输出电压 Vab=E(ΔR”+ΔR’)/2R 令ΔR=（ΔR”+ΔR’)/2，则有 Vab=E*ΔR/R=E*K*F 由上式可知：在E一定时，按图1组成的压力传感器的输出电压与各桥臂电阻的平均变化率ΔR/R成正比，而在悬臂梁的弹性变形范围内，ΔR/R又与加在悬臂梁自由端的负载F的大小成正比，即ΔR/R=K*F，其中K是悬臂梁应变式电阻传感器的压力—电压变换灵敏度（量纲mV/V·Kg）,它表示单位负载和单位激励电压作用下，桥式电路的输出电压（mV），其值只与悬臂梁及应变片的材质、几何尺寸有关的传感特性参数。准确测定这一参数，对于应用这种压力传感器的后续设计工作具有非常重要意义。 二、悬臂梁应变式电阻传感器的压力—电压变换灵敏度K的测量方法 图3 测量K的电路结构 图4 测量电路的等效变换 单位负载、单位激励电压作用下电桥的输出电压很小，所以直接测量悬臂梁应变式电阻传感器的压力—电压变换灵敏度K值很难。只能用差分放大电路进行间接测量。测量电路如图3示。现对图3示测量电路的输出电压Vo与压力传感器负载F、电桥激励电压E之间的关系进行定量的理论分析。根据戴维南电路等效变换定理（Thevenins theorem），图3示的电路可变换成图4右侧的两个信号源作用的等效电路。在该图中 根据线性电路理论中的叠加原理，差分放大器输电压Vo可表示为： V0=V0-+V0+