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前處理 裁切 覆膜 蝕刻 顯影 曝光 AOI 去膜 清洗 內層 底片 乾膜 基板 乾膜 底片 曝 光 內層線路 A.無塵室管理 溫濕度,落塵量,傳遞門,人員著裝 影像轉移 B.曝光能量及真空度 管制記錄,重工管制 C.底片進出及報廢管制 管控方式,報廢記錄 D.底片版序及曝光次數管控 管控方式,監控記錄 流 程 作 用 制 程 管 控 稽 核 重 點 * 精品PPT | 借鉴参考 前處理 裁切 覆膜 蝕刻 顯影 曝光 AOI 去膜 清洗 內層 乾膜 基板 乾膜 顯 影 去除未被曝光 A.顯影液濃度及溫度 酸性/鹼性/危險品管控 之乾膜 B.顯影/水洗噴淋壓力 參數是否在管制範圍 C.顯影點及輸送速度 置放時間是否管制 D.添加量及添加頻率 E.顯影不潔,曝偏 流 程 作 用 制 程 管 控 稽 核 重 點 * 精品PPT | 借鉴参考 前處理 裁切 覆膜 蝕刻 顯影 曝光 AOI 去膜 清洗 內層 乾膜 基板 乾膜 流 程 作 用 制 程 管 控 稽 核 重 點 蝕 刻 內層線路 A.蝕刻液酸度及比重 酸性/鹼性/危險品管控 形成 B.價銅含量 藥水配槽或自動添加校驗記錄 C.蝕刻/水洗噴淋壓力 參數是否在管制範圍 D.蝕刻溫度及輸送速度 E.殘銅 * 精品PPT | 借鉴参考 前處理 裁切 覆膜 蝕刻 顯影 曝光 AOI 去膜 清洗 內層 基板 去 膜 去除剩餘的乾膜 A.去膜液濃度/溫度及輸送速度 藥水配槽記錄 清 洗 去除板面殘餘藥液 B.噴灑及水洗壓力 參數是否在管制範圍 C.冷風車頻率及烘乾溫度 D.添加頻率及添加量 自動添加校驗記錄 E.斷/短路,刮傷 重修管控 A O I 內層線路檢查 缺口,刮傷,凹陷等 人員認證/首件記錄
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