2020薄膜材料与技术09级第1章真空技术基础.pptVIP

Thin Film Materials Technologies 薄膜材料与技术 材料科学与工程学院 2008 ? 西安理工大学 Xian University of Technology -1- 薄膜材料与技术 Thin Film Materials Technologies 武涛 副教授 2012 年 秋季学期 Thin Film Materials Technologies 薄膜材料与技术 材料科学与工程学院 2008 ? 西安理工大学 Xian University of Technology -2- 主要教学内容 第 1 章 真空技术基础（ 2 学时） ? 真空的基本知识、获得方法和测量技术 第 2 章 薄膜制备的化学方法（ 6 学时） ? CVD 技术的原理、分类、设备工艺及应用场合 其它基于化学方法的薄膜制备技术的原理、特点和应用领域 第 3 章 薄膜制备的物理方法（ 6 学时） ? 蒸发、溅射、离子镀等 PVD 技术的原理、工艺及适用领域 第 4 章 薄膜的形