传感器探头设计.docxVIP

PAGE PAGE #/ 2 电容 选材与加工 温度变化会使电容传感器各部分的几何尺寸和介电常数发生变化，而湿度 也会影响某些介质的介电常数和绝缘电阻值，因此必须进行正确的选材以及采 用精细的加工工艺，以减小环境温度 ,湿度等变化产生的影响，保证绝缘材料的 绝缘性能。 一般的 ,电容传感器的金属电极选用温度系数低的铁镍合金或陶瓷等材料， 也可在陶瓷或石英等非金属材料上喷镀金或银，传感器内电极应加以密封，以 防尘防，传感器电极的支架应具有一定的机械强度和稳定性能，并要有较高的 绝缘电阻，如石英、云母及陶瓷等。另外，传感器的电介质宜采用空气或云母 等介电常数的温度系数近似为零的电介质。 消除减小边缘效应 边缘效应会影响电容传感器的灵敏度和线性度，必须尽量消除或减小，为 了减小边缘效应，可以通过减小极间距来实现，使传感器的极板直径远大于极 板间距，但这种方法容易产生击穿，而且会限制测量范围目一前常用的消除边 缘效应的方法是使用等位环技术。并且在测量过程中应尽量避免极板间的振 动，以保证测量结果的正确性。 探头设计 在设计电容传感器探头时，首先需要考虑探头极板的形状，根据对平板电 容电场边缘效应的研究，对四种面积相等而形状不同的平板电容缘效应进行比 较，其从大到小的顺序为： 正三角形、正方形、正六边形、圆形。因此可知圆形电极的极板边缘效应 最小，故在本设计中使用圆形的探头结构。 等位环 图 1xx 传感器探头平面结构图 图 1 为本设计的电容传感器探头平面结构图，探头表面由一个圆形测量极 板和两个同心金属圆环组成。两个同心圆环分别为等位保护环和地屏蔽环，三 部分通过绝缘层相隔。等位保护环利用了等位技术，使其与中心测量极板等电 位，转移了边缘效应，保证了测量极板内的电势分布均匀。地屏蔽环利用了法 拉第屏蔽原理，即如果导体笼内部存在电荷时，将导体接地，与地球相连接， 成为一个大导体，则导体笼的表面所感应的电荷几乎不受内部电荷的影响，从 而隔绝了内外电场之间的影响，避免外界的电磁干扰。 电容传感器的机械尺寸决定了薄膜测厚仪的分辨率及抗干扰特性。因此， 在进行机械设计时，首先要选定传感器的基本参数：