光机电产品检测技术-48（树） 本讲资源 6-常用传感器分类.pptx

课程名称：传感技术与应用主讲教师：吴鹏 邮箱：wup@wxit.edu.cn课程重要性科学仅仅是在人们懂得了测量才开始的 －门捷列夫[Mendelyeev,Dmitry Ivanovich] “没有传感器就没有现代科学技术”的观点已为全世界所公认。以传感器为核心的检测系统就像神经和感官一样，源源不断地向人类提供宏观与微观世界的种种信息，成为人们认识自然、改造自然的有利工具。参考书唐文彦主编《传感器》第4版，机械工业出版社强锡福主编《传感器》第3版，机械工业出版社余瑞芬主编，传感器原理，航空工业出版社考核方式完成一篇课程论文课程要求掌握各类传感器的基本理论，掌握几何量、机械量及有关量测量中常用的各种传感器的工作原理、主要性能及其特点；能合理选择和使用传感器；掌握常用传感器的工程设计方法和实验研究方法；了解传感器的发展动向。1.1 传感器的定义、组成、分类传感器（Transducer/Sensor）的定义是：“能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置”定义包含的意思：传感器是测量装置，能完成检测任务；它的输入量是某一种被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等。它的输出量是某种物理量，这种量应便于传输、转换、处理、显示等等，这种量不一定是电量，还可以是气压、光强等物理量，但主要是电物理量；输出与输入之间有确定的对应关系，且能达到一定的精度。被测量中间量输出电量敏感元件转换元件基本转换电路1.1 传感器的定义、组成、分类输出量为电量的传感器，一般由敏感元件、转换元件、基本转换电路三部分组成。 敏感元件：它是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的某一物理量的元件。 转换元件：将敏感元件的输出转换成一定的电路参数。有时敏感元件和转换元件的功能是由一个元件（敏感元件）实现的。 基本转换电路：将敏感元件或转换元件输出的电路参数转换、调理成一定形式的电量输出。 1.1 传感器的定义、组成、分类1.1 传感器的定义、组成、分类角度位移速度压力温度湿度声强光照磁场电压电流电阻电容 传感器1.1 传感器的定义、组成、分类 非电学量→传感器→电学量 1．按被测物理量分类常见的被测物理量机械量:长度,厚度,位移,速度,加速度, 旋转角,转数,质量,重量,力, 压力,真空度,力矩,风速,流速, 流量;声:声压,噪声.磁:磁通,磁场.温度: 温度,热量,比热.光： 亮度，色彩2．按传感器的能量转换情况:能量转换型和能量控制型.能量控制型:从外部供给能量并由被测量控制外部 供给能量的变化.例如:电阻应变片.能量转换型:直接由被测对象输入能量使其工作. 例如:热电偶温度计,压电式加速度计.3．按构成原理:结构型:依靠传感器结构参数的变化实现信号转变. 例如:电容式和电感式传感器.物性型:依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来 实现信号变换.如:水银温度计,热电偶4．按输出电信号类型分类 根据传感器输出电信号的类型不同，可以分为 ：模拟量传感器数字量传感器开关量传感器如：接近开关是一种采用非接触式检测、输出开关量的传感器。5.按物理原理分类其它原理的传感器 半导体式传感器波式和射线式传感器 谐振式传感器 气动式传感器 热电式传感器 光电式传感器 压电式传感器 磁电式传感器 电参量式传感器 本课程中按照该分类对不同物理原理的传感器进行分类介绍1.2 传感器的发展动向开展基础研究，发现新现象，开发传感器的新材料和新工艺；实现传感器的集成化与智能化 开发新型传感器 开发新材料 新工艺的采用 集成化、多功能化 智能化 1．开发新型传感器新型传感器包括：①采用新原理；②填补传感器空白；③仿生传感器等方面。它们之间是互相联系的。结构型传感器发展得较早，目前日趋成熟。结构型传感器，一般说它的结构复杂，体积偏大，价格偏高。物性型传感器大致与之相反，具有不少诱人的优点，加之过去发展也不够。世界各国都在物性型传感器方面投入大量人力、物力加强研究，从而使它成为一个值得注意的发展动向。 2．开发新材料传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学的进步，人们在制造时，可任意控制它们的成分，从而设计制造出用于各种传感器的功能材料。用复杂材料来制造性能更加良好的传感器是今后的发展方向之一。（1）半导体敏感材料（2）陶瓷材料 （3）磁性材料 （4）智能材料 3．新工艺的采用在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广，这里主要指与发展新型传感器联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械加工技术（MEMS），是近年来随着集成电路工艺发展起来的，它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域。利用半导体技术制造出压阻式传感器，利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器，日本横河公司利