几何量微纳米级精密测量技术.ppt

中国计量测试学会几何量专业委员会 2006 年年会 论文报告 几何量微纳米级精密测量技术 研究的若干新进展 叶孝佑 高思田 2006-09-12 中国计量科学研究院长度所 1 报告提纲 ? 前言 ? 一维微纳米级长度尺寸测量 ? 二维微纳米级坐标测量 ? 微型坐标测量机 ? 纳米尺度计量 ? 结束语 中国计量科学研究院长度所 2 前言 ? 20 世纪末至 21 世纪初，精密、超精密制造（加工） 的精度水平向微米和纳米级发展。发达国家的计量 院对基标准的研究是长期和连续不断的，而且投入 很大，如美国的标准与技术研究院（ NIST ）、英 国的物理研究所（ NPL ）和德国的物理技术研究院 （ PTB ）。在亚洲，日本的 NIMJ 、韩国的 KRISS 近几年在微纳米测量技术研究方面发展也非常迅速， 步入了世界先进水平行列。在我国，中国计量科学 研究院一直坚持不断地研究，近年来取得的一些科 研成果也达到了世界先进水平。 中国计量科学研究院长度所 3 1. 一维微纳米级长度尺寸测量 ? ? 在集成电路工业领域，由于在一片光学掩膜板上集成的电路 越来越多，需要研究其几何特性，因此必须提升长度测量系 统的不确定度，目前，对 7 ＂掩膜板的结构距离测量的重复 性达到了 3 nm ，溯源到长度单位的不确定度水平达到的电路 制造水平约 30nm 。 在机械工程领域，对长度测量系统不确定度的要求越来越高， 特别是在长度测量系统中对短周期长度测量偏差的不确定度 要求更高（例如，对光栅尺的测量）。 中国计量科学研究院长度所 4 1. 一维微纳米级长度尺寸测量 ? 德国： PTB Interferometer Beamsplitter Bellow Bellow Slide Microscope Bridge Measurement Slide Scale 测量范围： 610 mm 。 Granite Vibration Isolation Linear Drives 测量不确定度：线纹尺： Uaim ≤ 5 nm ，光学掩膜板长度： Uaim ≤ 5 nm ，线性光栅编码器： Uaim ≤ 3 nm ，激光干涉仪： Uaim ≤ 2 nm 。 指标： 一维纳米比长仪 德国： PTB 中国计量科学研究院长度所 5 ? 中国：中国计量科学研究院 1. 一维微纳米级长度尺寸测量 测量范围≤ 3 μ m ， 分辨率优于 0.5nm ， 测量不确定度 ≤ 3nm 。 F-P 拍频激光干涉仪 中国计量科学研究院长度所 6 2. 二维微纳米级坐标测量 ? 为了解决在集成电路、仪表、机械制造、塑胶等工业测量中广泛应用的 非接触坐标测量机及测量显微镜的校准和溯源，工业发达国家在近十年 来纷纷研制了高精度二维线纹标准器及其标准装置，其测量范围达到 600mm ? 600mm ，测量不确定度达到 10 ～ 300nm 。与一维微纳米级长度尺 寸测量相比，其引用的关键技术除了上述的激光测长和瞄准定位外，还 需要考虑进行两维测量的平面参考镜的制造测量和安装调整。平面参考 镜的直线度、平面度和两个平面镜正交性是主要的测量误差来源。 ? ? ? ? ? ? 中国计量科学研究院长度所 7 2. 二维微纳米级坐标测量 ? 德国 PTB : 二维微纳米级坐标测量 装置 测量范围 : 280 mm ? 280 mm 测量不确定度 : 35nm （ 3σ ） ? ? ? ? ? ? 扫描电镜头定位的二维 测量系统 测量范围 : 300 mm ? 300 mm 测量不确定度 : 5nm 8 中国计量科学研究院长度所 2. 二维微纳米级坐标测量 瑞士 METAS 研制的掩膜板测量仪 ? 用于校准掩膜板表面的结构，测量范围达到 400mm ? 300mm 。仪器由具有空气轴承的 XY 位移 台组成，两轴的平面反射镜干涉仪测量位移 台的位置，用数字视频显微镜系统瞄准定位， 对于短周期的测量重复性3nm(1σ)。 ? 中国计量科学研究院长度所 9 2. 二维微纳米级坐标测量 ? 韩国计量院（ KRISS ） 结构与德国 PTB 的 Leica LMS 2020 类似，使用激光干涉仪测长， 原子力显微镜（ AFM ）的测量 头瞄准定位，其单轴位移测量不 确定度为 10nm ，测量范围为 200mm ? 200mm 。 二维微纳米级坐标测量装置 中国计量科学研究院长度所 10 2. 二维微纳米级坐标测量 ? ? 瑞士 METAS 研制的掩膜板测量仪 用于校准掩膜板表面的结构，测量范围达到 400mm ? 300mm 。仪器由具有空 气轴承的 XY 位移台组成，两轴的平面反射镜干涉仪测量位移台的位置， 用数字视频显微镜系统瞄准定位，对于短周期的测量重复性3