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PZT 传感器读出电路设计 摘 要 锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷是一种可将机械能和电能相互转换的陶瓷材料。利 用其压电特性设计成的压电传感器广泛应用于声纳系统、气象探测、遥感环保、 家用电器、医疗和通信等领域。由于PZT 传感器中压电元件输出的信号较为微 弱，易受电路和外部环境等因素的影响，设计高精度的PZT 传感器读出电路难 度较大。故本文的研究关键点在于如何抑制噪声并提升PZT 传感器读出电路精 度。同时，本文对读出电路进行了集成化设计，证明了其具有一定的可应用性。 主要研究工作总结如下： 本文首先基于 MATLAB 建模仿真，模拟了在各种因素下的相关参数范围， 以指导后续的电路设计。然后进行整体电路的设计和搭建，包括自动增益控制 （AGC ）和ADC 两个主要部分。传感器先将信号传输到可变增益放大器中进行 放大，然后由具有低频噪声抑制作用的ADC 转换为数字码，自动增益控制电路 读取数字码，并自动选择增益放大的范围。自动增益部分由可变增益放大器和增 益控制组成。本文采用可编程增益放大器作为VGA ，以提高读出电路对不同幅 值信号的适应能力。模数转换器电路主要由调制器和滤波器构成，在提高精度的 同时，降低一定的功耗和面积。调制器采用三阶sigma-delta ADC ，由开关电容 积分器、一位比较器、反馈DAC 、两相非交叠时钟、斩波时钟等构成。数字抽 取滤波器主要由FIR 滤波器实现。最后完成模拟部分的版图设计及后仿真。PZT 传感器读出电路的模拟前端的设计基于smic 0.18µm 工艺。读出电路的过采样率 为128，整个电路在3.3V 电源以及信号带宽为1kHz 下工作。对整体电路进行仿 真后，得出信噪失真比为95.6dB ，有效位数 （ENOB ）达到15.58bits 。证明本文 PZT 传感器读出电路具有可行性和有效性。 关键词：三阶模数转换器，可编程增益放大器，自动增益控制 I 目 录 摘 要 I ABSTRACT II 第一章 绪论 1 1.1 研究背景及意义 1 1.2 国内外研究现状2 1.3 技术路线3 1.4 主要研究内容3 第二章 读出电路的基本原理4 2.1 整体结构4 2.2 自动增益控制5 2.2.1 基本原理5 2.2.2 可变增益放大器5 2.2.3 增益控制6 2.3 模数转换部分7 2.3.1 模数转换的基本原理9 2.3.2 sigma-delta 调制器 11 2.3.3 数字抽取滤波器 17 2.4 本章小结 19 第三章 读出电路的影响因素与建模20 3.1 开关对电路的影响分析20 3.1.1 非线性导通电阻20 3.1.2 沟道电荷注入22 3.1.3 时钟馈通影响23 3.2 运放对电路的影响分析23 3.2.1 运放的增益24 3.2.2 运放带宽和压摆率25 3.3 电路噪声分析26 3.3.1 热噪声的产生26 3.3.2 闪烁噪声的产生27 3.4 读出电路的Simulink 建模27 3.5 本章小结29 第四章 电路设计及仿真30 4.1 放大器电路设计30 4.2 sigma delta 调制器的设计37 4.2.1 积分器的设计37 4.2.2 量化器的设计39 4.2.3 反馈DAC 的设计40 4.2.4 两相非交叠时钟40 4.2.5 调制器仿真结果43 4.3 数字逻辑电路的设计44 4.3.1 数字滤波器44 4.3.2 自动增益控制47 4.4 版图设计49 4.5 整体电路的仿真52 4.6 本章小结52 第五章 总结与展望 53 参考文献 54 在学期间的研究成果 57 致 谢 58