离子注入机简介-资料精品教育文档.pptVIP

1 离子注入机简介 2 ★ 离子注入机的种类 中束流 μA 350D NV6200A 大束流 mA NV10-80 NV10-160 NV10-160SD NV10-180 3 ★ 6200 、 NV10160 、 10180 、 10160SD 简介 离子注入机按照真空系统分为三个部分 SOURCE BEAM LINE END STATION 4 SOURCE BEAM LINE END STATION 6200 FILAMENT ARC EXTRACTION ACCEL / DECEL SUPPRESSION ANALYZER SUPPRESSION ACCELERATION Q-LENS X 、 Y SCAN FARADAY SYSTEM END STATION CONTROL NV10160 NV10180 NV10160SD FILAMENT ARC VAPORIZER SOURCE MAGNET SUPPRESSION EXTRACTION (HV) ANALYZER ACCELERATION FLAG FARADAY DISK FARADAY 各部分包括的控制器 5 ★ 离子注入的原理 离子源