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扫描电子显微镜（SEM）原理和应用 报告人：张凯火炎指导老师：乐永康老师 蔡群老师 口实验动机 □ SEM的工作原理与仪器介绍 口 SEM的维护与校准 口不同显微镜结果对比 □不同尺度金刚石颗粒拉曼光谱研究 □总结  电子枪□□縮小透镜：丿5^=3—放大器样品T■次级电子探谢器扫描 发生器放大倍数控制SEM 电子枪 □ □ 縮小透镜 ：丿5^=3— 放大器 样品T ■ 次级电子探谢器 扫描 发生器 放大倍数控制 1、 电子束扫描样品 2、 在样品表面激发出次级电子 3、 次级电子由探测体收集 4、 电子被闪烁器转变为光信号 5、 光电倍增管和放大器转变为 电信号 6、 显示出与电子束同步的扫描 图像。 w SEM三大部分: 真空系统 电子束系统 分析系统 题IMJ谶 ?预热灯丝 ?调节灯丝位置 ?正常工作电压 题IMJ谶 Alignment screw 删mm LSPMODE、EXP SIZE模式下的观察 FILAMENT control FILAMENT control FILAMENT control 11 o clock 1 o clock position 2 o clock position position First peak position Second peak positi on  删mm 电子枪发射电流与灯丝电压关系 position position position 删mm 用SEM观察STM针尖: 放大倍数：10000 加速电压：25kv 金刚石薄膜观测 金相显微镜初步观测 第一台SEM观测 SEM2观测样品 SEM2观测样品 AFM观测样品一 AFM观测样品二 (luowsu ①C一 纳米和微米尺寸金刚石薄膜的拉曼光谱 工作总结： 口 SEM的原理，使用，维护 口金相显微镜、SEM、AFM确定样品尺寸 口不同尺寸对样品物理性质（拉曼光谱）的影响 工作展望： 口拉曼光谱的进一步研究：变温、变磁场 □其它测量手段，如XRD、红外光谱等 蔡群老师 乐永康老师 杨新菊老师岑刘老师 杨新菊老师 岑刘老师