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铸锭车间SOP培训教材
多晶铸锭
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坩埚喷涂
坩埚装料
铸锭投料
部门流程介绍口
铸锭出锭
铸锭拆锭
DSS系统
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liding Your Trust in Solar
磨
坩埚作业流程
1)用电子秤准确称
GE喷涂氮化硅配比
250g(A)+200g(B)=4509
称氮化硅粉
氮化硅(450g)+纯水(1600m-1800m)+硅溶胶(100
160g)
单一氮化硅粉配比:450g+1700m(纯水)+硅溶胶(100
备注:氮化硅粉用量,随着工艺时期及季节时期,会有20-
30g波动。氮化硅放于容器中
2)用尼龙网纱布网住小木桶的口
化硅能通过砂网砂眼,达到工艺要求的颗粒大小而落入小桶中
直至磨完为止
磨粉
1.2取出已检查过未喷坩埚,视觉检查坩埚表面有无裂纹
无缺角,记下坩埚序列号,将坩埚放置在坩埚喷涂站中
OPSI的压缩空气吹扫坩埚表面,用百洁布沾纯水来檫试坩埚
表面,然后打开加热装置
取1开剑埚溢度达到70(用测温枪测量温度)时,用量筒
纯水加入研磨好的氮化硅,搅拌均匀,备用
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坩埚作业流程
1.2开始喷涂
2.1当坩埚底部、测面温度达到65℃-75℃(用测温枪测量温度)时
,才可开始喷涂,将开始时间记录在《坩埚喷涂记录单》中
2.2定位喷枪上的螺旋及喷嘴
1)顺时针方向拧紧上螺旋,之后重新倒回螺旋1/4圈
2)顺时针方向拧紧下螺旋,之后重新倒回螺旋3/2圈。
3)将喷嘴设为水平横方向
4)喷射压力为20~35PSI。
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坩埚作业流程
2.3开始喷涂时,先试喷在一张纸板上,以保证喷
出的液体在纸板上均匀分布。
搅拌
2.4喷枪离所需喷涂表面垂直距离30-40cm,先
啧底部,噴枪不间断的来回喷涂7-10次,其它表
面来回喷涂3~5次,直至喷完所有氮化硅混合液
手拿喷枪喷射速度匀速,时间平均分配,每点停留
时间不超过一秒,否则混合液会凝聚在一起,影响
涂两人
喷涂质量。
2.5每一次喷凃前,须用测温枪测量坩埚底部、测
面温度,所有温度必须控制在70℃-75℃内,温度
可以通过开关加热器开关予以调节。操作员须记
录每次正式喷涂前的最高温度和最低温度,全部喷
完后,再将整个喷涂过程中的最高温度、最低温度
及啧涂结束时间记录在《坩埚喷涂记录单》中
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坩埚作业流程
2.6用手电筒照射检查,看喷涂质量
有无裂纹、凸起、脱落,如果有用
检查喷涂
纯水洗,重新喷涂。
是否完好
对这些水管
2.7每次完成喷涂,喷涂器具清
重点清洗
洗干净,至少清洗二次以上
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坩埚作业流程
4、坩埚装料
4.1操作员戴好手套,在推车上放一石墨
板,摆放整齐(石墨平面与车板平行)。
4.2将坩埚轻放在干净的石墨板正中(即
坩埚四个外表面到石墨板边垂直距离为
4.5±0.2cm),校正好石墨板与小车各面
位置(即推车两侧边到石墨板距离为
14~17cm,正对推车扶手一面的边缘距石
墨板为6.5~7cm)
4.3摆放好用吸尘器吸去石墨板上、推车
上的灰尘
4.4把坩埚推入装料室中
4.5操作员在装料前须确保带好口罩、帽
子、一次性胶皮手套。
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坩埚作业流程
4.6开始装料
4.6
块(如
和气泡
铺叠在一起,避免横向膨胀,也不
要直接贴在坩埚边部,与坩埚丙壁
之间空出5cm±2空隙
46.3当装料装至整个坩埚高度12团
时,加入掺杂物质,均匀摆放在硅
料表面
4.6.4.继续装料直到距坩埚顶部1
2英寸处将硅料摆在中间位置以防
掉落,直至装完,应特别注意上剖
避免装粉料或细小块料,尽量放块
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坩埚作业流程
46.5用吸尘器吸去推车上、石
吸尘
墨板上的残留物质在坩埚四边
固定好石墨档板四边石墨档紧
板的边必须与石墨底板边相吻
合,且石墨档板与底板平面相
互垂直,对边两档板与坩埚距
离保持一致,用手旋上螺丝,
不要太紧,盖上薄膜,填写并
已装好料
附上《装料坩埚追踪号单》
4.6.6送往DSS铸锭区
注意:装料过程注意防尘,不
接触金属,轻拿轻放,不要碰
坏喷涂层,非工作人员勿进
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