材料测试与分析技术-61散射.pptVIP

第六章 电子与物质的交互作用 6.1 散射 6.2 高能电子与样品物质交互作用产生的电子信息 6.1 散射 ? 散射 ：当一束聚焦电子沿一定方向射到样品上时， 在样品物质原子的库仑电场作用下，入射电子方向 将发生改变，称为散射 。 ? 弹性散射 ： 电子只改变运动方向，基本无能量变化。 ? 非弹性散射 ：电子不仅改变运动方向，能量也有不 同程度衰减。被散射电子的波长改变，损失的能量 导致物体内部的某些激发效应，其表现形式可以是 次级电子、俄歇电子、标识和连续 X 射线、热辐射、 紫外和可见光区域的光子等，也可以是等离子体激 元的激发。 ? 6.1.1 原子核对电子的弹性散射 r n 处经 当入射电子从距原子核 过时，由于原子核的正电荷的 吸引作用，入射电子偏离入射 方向。即原子核对电子的弹性 散射。 r n 、核 散射角 ，与瞄准距离 Z e 及入射电子的能量 电荷数 E 0 之间的关系为： Z n ? n ? E 0 r n 可见， 原子序数越大，电子能量越小，距核越近， 则散射角越大。 ? 除原子核对电子的散射外，核外电子带负电荷， 对原子核的弹性散射有屏蔽作用。 ? 由于原子对电子的散射比对 X 射线的散射强得多， 因此，电子在物质内部的穿透深度要比 X 射线小得多。 ? 作用：原子核对电子的弹性散射是电子衍射及成 像的基础。 ? 6.1.2 原子核对电子的非弹性散射 由于非弹性散射，入射电子运动方向改变， E 转化 X 射线的能量： ? E ? h ? ? hc / ? 式中： h- 普朗克常数， c- 光速， ν -X 射线的频率， λ -X 射线的波长 可见， 能量损失越大， X 射线的波长越短。 能量也有不同程度的损失，损失的能量△ 为相应的 ? 不利影响：产生的 X 射线是连续的无特征波长的 X 射线，不能反映样品结构或成分特征，反而产生 背景信号，影响成分分析的灵敏度和准确度，对 X 射线衍射不利。 ? 作用： 连续 X 射线谱的强度数据可用于分析颗粒 样品和粗糙表面样品的绝对浓度。 ? 6.1.3 核对电子对入射电子的非弹性散射 原子中核外电子对入射电子的散射作用是一种 非弹性散射，散射过程中入射电子所损失的能量部 分转变为热，部分使物质中的原子发生电离或形成 自由载流子，并伴随着产生二次电子、俄歇电子、 特征 X 射线、特征能量损失电子、阴极发光和电子 感生电导等有用信息。 ? 不利影响：在电子衍射及透射电镜成像中引起 色差而增加背景强度及降低图像衬度。 ? 作用： 产生的电离、阴极发光及电子云的集体 振荡等物理效应，可以反映样品的形貌、结构及 成分特征，是各种电子显微分析仪器的重要信息 来源。