集成电路 DESIGN-RULE文件认知 教学PPT课件.ppt

DESIGN-RULE文件认知 什么是DESIGN-RULE 什么是Design—rule？ Design—rule 顾名思义就是设计规则。 是为了保证集成电路生产的成功和高产品率， 要求版图设计符合一定的规则，包括导线交 叉条件、最小线宽、多晶硅在场区上的最小 伸出长度等等。这些规则有些是必须共同遵 守的，违反了就不能得到合格的IC; 有些是 是可按各家工厂的经验自行规定，以保证得到高的成品率。 为了保证这些设计规范得到遵守，可用专用的设计规则检 查程序对设计完毕的版图数据进行检查。 Design—rule一般是foundry厂商提供，根据产品的制程给出相应的rule文件。 DESIGN-RULE 为什么layout engineer必须要了解design-rule? 画版图时需要按design rule的要求来操作，design rule是制造厂商根据工艺，工厂设备，制作流程和水平等相关指标，设定出一个相符的规则，以保证生产出的chip是有效的。 design rule与layout有很大的关系，有很多重复的劳动都是源自于design rule的upgrade（提升）。也就是在circuit不变的情况下，如果design rule有变化，layout也要跟着变化（这里无形之中就增加了不少的工作量。） 所谓design rule有变化是指，同一家工厂的制程变化，在不同的工厂生产等情况下，所造成的design rule的变化，但无论是何种原因引起的，layout总是要动手改的。所以，作为一个layout engineer是有必要对design rule有足够的了解的，并知道存在design rule的用意在何处。 DESIGN-RULE Width Space Overlap Enclosure Extension Area Geometrical Layout Terminology DESIGN-RULE Width Distance of interior-facing edge for single layer(W) W Rule No. Description Rule NW.W.1 Width = 0.62um CO.W.1 Width (square) (maximum=minimum) = 0.12um DESIGN-RULE 如果层次的width有误，我们在验证的时候，报错结果会用INT来表述 INT（Internal）检查以个图形的宽度 单层INT: 检查单层图形的宽度 双层INT：检查一层图形伸入到另一层图形的距离 Width Distance of interior-facing edge for single layer(W) DESIGN-RULE 单层INT命令：宽度检查 DESIGN-RULE 双层INT:伸入长度检查 DESIGN-RULE Space Distance of exterior-facing edge for one or two layers(S) Rule No. Description Rule NW.S.1 space = 0.62um NW.S.6 space to N+ACTIVE = 0.22um A A A A (c) (b) A A B (d) (a) DESIGN-RULE Space Distance of exterior-facing edge for one or two layers(S) 如果层次之间的space有误，我们在验证的时候，报错结果会用EXT来表述 EXT （External）检查两个图形的间距 单层EXT: 检查单层图形的间距 双层EXT：检查两层图形的间距 DESIGN-RULE 单层EXT检查 DESIGN-RULE 双层EXT检查 DESIGN-RULE Overlap Distance of interior-facing edge for two layers(O) Rule No. Description Rule PP.O.1 overlap of OD = 0.13um B A (a) B A (b) DESIGN-RULE Enclosure Distance of inside edge to outside edge (Fully inside)(EN) Rule No. Description Rule NW.EN.2 Enclosure of P+ACTIVE = 0.22um B A DESIGN-RULE 如果层次之间的覆盖有错