测量显微镜 工程光学教学案例教学PPT课件.ppt

* 强调计算机的辅助作用及人的主体作用 * 强调计算机的辅助作用及人的主体作用 * 系统图，以顶点为坐标 * 部件图 * 零件图 * 平面零件 * 工程光学教学案例 测量显微镜的设计 几何光学知识综合运用 * 一、任务 测量直径小于1.2mm的毛细孔。 非接触测量，且误差小于4μm。 案例1 测量显微镜设计实例 * 案例1 测量显微镜设计实例 Γ = 25× L = 195mm 视场大小：2y = 1.4mm 分辨率：σ＝4μm 二、分析 1、主要光学参数 * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 2、放大率分解 目镜 Γ目=5×，10×，12.5×，15× ，25× 物镜 β= 2.5×，4×，10×，40×，100× 取：Γ目=10× β=2.5× * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 3、目镜焦距 f目 =250/Γ目=250/10=25mm Γ目=250/ f目 * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 4、分划板大小 2y1= 2y1×β =1.4×2.5=3.5mm 2y1=1.4mm * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 5、目镜视场角 ω2 = 4o， 2 ω2 = 8o tgω2= y1 / f目 =1.75/25=0.07 * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 6、物镜数值孔径 NA≤Γ/300=25/300=0.083 取： NA=0.07 Γ ≥300NA * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 7、显微镜分辨率 σ =0.5λ/NA σ =0.5 λ/NA =0.5×0.000555/0.07=3.96 μm σ =0.61 λ/NA =0.61×0.000555/0.07=4.836 μm * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 8、瞄准精度验算 仪器α= 72.5/25=2.9μm 或60 /25=2.4 人眼α=250×0.00029=72.5 μm * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 9、出瞳直径 2a=500NA/Γ =500×0.07/25=1.4mm 2a=500NA/Γ * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 10、物镜光路 物方远心光路 * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 11、物镜焦距 * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 12、物镜口径 sinu = 0.07 u = 4.014° tgu = 0.070172 D物 =2y1+2ltgu=1.4+2×55.71×0.070172 = 9.2186≈9.5mm NA = 0.07 n = 1 * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 13、孔径光阑口径 ∵tgu=tgu×l /l =0.070172×55.71/139.29 =0.028065771 ∴ u =1.607628556 sinu =0.028054729≈0.028 D孔=2(l1-f1) tgu =5.585089623≈6mm D孔=2(l1- f1) tgu * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 14、出瞳距 ∵-lz=l1-f1 +f2 =139.29-39.79+25=124.5mm ∴lz=-124.5mm * 二、分析 案例1 测量显微镜设计实例 15、目镜口径 D目=2lz tgω2 +2a =2×31.28×0.07+1.4=5.779 ≈6mm D目=2lz tgω2 +2a * 三、选择初始结构 案例1 测量显微镜设计实例 参考书 光学设计手册 国防工业出版社 光学技术手册 机械工业出版社 光学设计 袁旭昌 北理工出版社 应用光学 张以谟 国防工业出版社 实用光学设计方法与现代光学系统 张登臣 机械工业出版社 * 三、选择初始结构 案例1 测量显微镜设计实例 1、目镜 选凯涅尔目镜 X=±5 f 2目 /1000=±3.125mm 目镜调节螺纹长度6.25mm f目=25mm Γ目=10× 2 ω2 = 8o * 三、选择初始结构 案例1 测量显微镜设计实例 1、目镜 镜板距 =7.5mm P * 三、选择初始结构 案例1 测量显微镜设计实例 1、目镜 r d 玻璃材料 96.1600 1.50 F4 13.7090 5.00 BaK2 -18.7070 18.00 31.9900 5.00 K9 -55.340