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Rofin激光器使用简明说明书 控制电路板： 控制电路板关键包含： 电源，主开关，保险，继电器，安全装置，电机保护开关 HV开启中高频发生器和高压产生单元 计算机部分包含：CPU卡，数字输入，继电器输出，脉冲坡调发生单元，一个通用外部控制系统接口 键盘和显示（控制终端），控制终端能够装在任何其它本类型激光器电路板上 面板符号说明 NO.: 名称 功效 符号 Q1 Main Switch 机械开关连接主电源 -H1 Main is On 信号灯，灯亮表示主电源闭合 -H2 HV is On 信号灯，灯亮表示高压闭合 -H3 Shutter is closed 信号灯，灯亮表示光闸关闭 -H4 Shutter is open 信号灯，灯亮表示光闸打开 -S01 Emergency off 机械按钮，按下后，全部主接触器后电路全部断开。除了Q1里闭合那一部分仍然保持连通。 -S1 Mains off 打开主接触器按钮，取消S2操作，全部主接触器后电路全部断开。除了Q1里闭合那一部分仍然保持连通。 ○ -S2 Mains on 按下后给以下单元供电： ·控制电柜风扇 ·高频发生器风扇 ·高频放电管电压模块 ︱ -S3 HV Off 高压断开按钮 ○ -S4 HV ON 高压闭合按钮（前提：光闸必需关上） ︱ -S5 Shutter Close 光闸关闭按钮 -S6 Shutter Open 光闸打开按钮 -S7 Key Switch Shutter Locked 在此情况下，光闸不能被打开 ○ -S7 Key Switch ShutterEnable 光闸在此情况下能够被打开 ︱ -S8 Key Switch Mode Select 在此状态下，高压和光闸全部锁住不能开 ○ 手动模式 自动模式 每日开启程序 打开冷却水（假如采取水冷机组，则打开水冷机组） 打开面板上Q1开关 按下“MAINS ON”按钮 信号灯“MAINS IS ON”闪烁 激光器里风机开启 “MAINS ON”出现在显示器上 在显示器上出现以下信息 “WATER TEST” 大约10秒后“FLAMENT ON” 大约30秒后“HV READY” 假如有错误信息出现，则排除确定后按下“RETURN” 按下高压开关 按下“HIGH VOLTAGE ON”按钮 “HIGH VOLTAGE IS ON”灯闪烁 激光器警告灯发光 此时激光器能够开始操作了，能够经过键盘来选择程序 6、LASER BEAM ON在按下这个按钮之前确定需要出光，需要进行全部必需安全防护工作。 关激光器 按下“LASER BEAM OFF”键，关闭激光器光闸 按下“HIGH VOLTAGE(HV) OFF”关闭高压 按下“MAINS OFF”断开主电源 关闭冷水机组 关闭Q1开关 关键报警信号 输入 说明 后果 文字显示 主电源浮动±10％ 或逆相序 主电源关闭 控制系统关闭 高压关闭 无文字显示 真空管抽真空 （真空检验或激光气体更换时） 高压锁定 EVACUATION 正在更换激光气体 在服务菜单中选择对应键能够实现此功效 高压锁定 GAS EXCHANGE 真空管将冲入激光气体 高压锁定 GASFILLING 主电源关闭 主电源关闭或等候打开 高压锁定 MAINS OFF 真空检验激活 此功效能够在服务菜单中打开 高压锁定 VACUUM TEST X100.2 X100.4 在打开主电源后，计算机将等候3分钟以调整冷却水流量，为打开射频管做准备。 高压锁定 WATER TEST 警告信号： 腔内激光气压超出限制，这个信号表示激光气体交换十分必需。 无 CAVITY PRESSURE X100.7 警告信号： 激光气瓶内气压低或是 GAS BOTTLE PRESSUER 警告信号： 最近72小时内激光器气体没有更换，提议在二十四小时内换气，不然高压会锁住。 GASCHANGE IN MAX 24h X130.6 警告信号： 真空泵电机回路空开断开 1VACUUM PUMP X140.4 X100.5 ALL X 24V电源断开 24V SUPPLY CAN BUS ERROR 冷却水温度报警 COOLING WATER TEMP EVACUATION TIME 射频风扇压力过小，或相序接反 高压锁定 FAN RF GENERATOR 换气错误 高压锁定 GAS CHANGE FAULT 需要换气 高压锁定 GAS CHANGE REQUIRED 充气时间超出 高压锁定 GAS FILL TIMEOUT 射频电源过流 高压锁定 GRID CURRENT 高压监控 高压锁定 HV MONITORING 高压过载 高压锁定 HV OVERCURRENT HV软开启错误 高压锁定 HV SOFTSTAR