电浆技术於清洁制程之应用.pdf

梁 力論 理論來理行 離 不 絶度 1. Maxwell-Boltzmann Maxwell-Boltzmann Distribution Note: (1) 度( ), 度 (2) 度零 (3) 度 量行若 行度 度 不參量 浪 不 離離 力狀離 量異量離量 量 若度 離 度力 離 2. (a) 不量 粒(b)粒異 數 粒量 理 離 粒行離數 量 力力 量 離量離 離 離離異 量 3 (a)(b) 行 離度 -Boltzmann distributio度 1 2 3 mc KT 2 2 離 Argon Glow Discharge Neutrals Ions Electrons Mass 6.6 -23 -23 -28 ×10 Kg 6.6×10 Kg 9.1×10 Kg Temperature 293K 500K 23,200K eV 0.025eV 0.04eV 2eV C 4 4 7 4.0×10 cm/sec 5.4×10 cm/sec 9.5×10 cm/sec average 粒 4 i 量mi 度vi t 量mt 量量 m v cosθ m u +m u (3) i i i i t t 1 2 1 2 2 2 1 2 ( sin ) m v m u +v θ + m u +∆U (4) 2 i i i i i t t 2 2 ( ∆U ) 粒類 (1) 離量零 (2) 離 (3) 離量粒 (2) (3)不 (sputter deposition) 利Ar 離 行CVD 利(例)行連串 4. 量