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容栅传感器 容栅数字显示卡尺工作原理(1) 利用容栅传感器的电子数显卡尺在我国的出现，已经有十多年的历史了。本文初稿 编 写于十多年前，根据当时国产芯片供货单位的资料和自己实际计算，主要是通过交流电路含 电阻电容的普通复数计算而得出机械位移与输出信号相位呈近似线性关系式作为误差分析 的依据。现在重新整理出来供有兴趣者参考和交流。 所谓调制和解调，就是把有用信号和 不要的干扰信号区别开来的措施，本来广泛用 于电讯技术中。为了能在一条电话线中传输 许多不同信道的电话就要对各通道的 电话信号进行调制使之互相区别开来。大家最熟悉不 过的就是上网用的 modem 和收音机、电视机都是通过调制信号后再传送出去。接收时再将 原信号解调回来。其中有调幅、调频等等之说。同样在机电一体化的长度测量技术中如光栅 和感应同步器等传感器里多半是采用相位调制方法来进行长度测量的。尤其是感应同步器和 容栅传感器有非常相似之处。在感应同步器里，滑尺上有两组激磁绕组，相隔一定的距离， 分别施加正弦和余弦电压，它们在定尺绕组上产生总感应电势的初相位中包含了与时间无关 的机械位移量x 的信息。所不同的是容栅传感器采用了电容和分别施加 8 路相位差以 45 度 递增的正弦电压而已 。这种正弦电压是由时钟振荡器产生的方波经分频器产生周期性的畸 形方波，其基波成分就是正弦波了。如果没有交流信号作为载波，那么机械位移信息就很难 传送。因此在这里只须用交流电路中的相量复数计算方法就足够了，不过式子太长了一些， 有时分子和分母要分开来写。既然是调相，那么鉴相器就是解调器了。当然还有辨别 x 的方 向功能等都包括在电路中了。本文主要分析电容栅板传感器测量位移的原理。 1、数显卡尺的结构 图 1 是卡尺结构的示意图。 主要的传感器元件是定栅 2，它粘贴在尺身上。动栅 5，它与尺框相连结，并且随尺框 一起移动。动定栅之间的电容量随着其相对位移依一定规律而变化。在 6 组 8 路驱动交流电 压的作用下，在接收板输出一个交流电压信号，其相位是机械位移量 x 的函数。它在一定精 度下呈近似线性函数。从而在这种调相和解调过程中实现长度精确计量，并在液晶显示屏中 显示读数。 二．测量电路原理 如下图所示，电路板中有时钟振荡器，产生时钟脉冲方波，所谓分频，就是周期性地拉 宽方波的峰或谷，产生畸形方波，其基波即为正弦波。有 8 个分路，每一路施加正弦电压初 相位以 45 度角( π/4) 的增量依次递增，此 8 路信号施加给每组中的 8 条动栅板条，共 6 组(对 应 48 条动栅）。接收板输出的信号也是正弦波电压，其频率与输入信号相同，其初相角则 是动栅机械位移的函数，近似线性变化。由位移 x 产生输出的 交流电压相位与 x 的关系呈 近似的线性变化，而输出的相位值通过集成电路转换为数字显示，显示的数字就是位移值了。 接下一篇（2 ） 三．动栅与定栅尺寸和它们之间的相互位置（图中数字单位为 mm） 此外，接收板 r 是与定栅耦合的，它长 25.4mm。因定栅节距为 5.08mm,故 25.4/5.08=5,就是说，接收板与 5 节定栅相耦合。这些数据将在计算式中用到， 特此强调一下。 四．容栅传感器中机械结构与电信号传送过程 图中 e1(t),e2(t)e8(t)表示由时钟脉冲产生的 8 路交流电压，其初 相角依次以 45 度角递增。分别作用到相邻的 8 块动栅板上。图中只表示其中的 第一组，其余各组和第一组相同。即：动栅板共有 6 组（6x8=48 条)，接收板长 25.4 对应着 5 组耦合。 接下一篇 五．8 路驱动电压源--周期畸形方波设 设为 5。5sec,即时钟脉冲周期。则畸形方波周期 T=512 图中的多数小方波周 期估计为 16） 前半周期凸畸形，后半周期为凹畸形。其基波为正弦波，依次以 45 度初相位 递增： 六．各路驱动电压相位矢量图 七．等效电路图 八．各动栅电容随位移 x 变化图 开始计算 平行平板电容计算的一般公式 1）Cr--接收板对一块定栅的耦合电容，介质为空气＋涤纶，其厚度各为 0.1mm, 共 0.2mm: 即 2) C0……定栅板与尺身（地）之间的电容。因为定栅覆箔板厚度为 0.35mm,其 基材为环氧树脂，故有 3) Cro……接收板与屏蔽接地板之间的电容。由于屏蔽板尺寸与定栅板相同， 其板面间距离也相同 4) C1(x),C2(x) ……至