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精密仪器设计 实验指导书 朱 丽 编写 裘安萍 审稿 南京理工大学 实 验 守 则 一、实验基本要求 1．实验前，必须认真预习实验指导书及教材中的有关内容，熟悉仪 器、设备的工作原则和初步了解操作要求。 没有预习实验指导书的学生不 得进入实验室。 2．实验中对各种数据应会处理，并考虑如何书写实验报告；实验中 出现的误差或其他情况应进行分析说明。 二、实验须知 1．学生应在规定的时间进入实验室。与实验无关的物品不得带入实 验室。进入实验室后，注意保持实验室清洁和安静。 2．实验前，熟悉仪器的操作规程和注意事项。经指导者同意后，方 可接上电源。要小心操作，用力适当。 3．如发现仪器有故障时，不得擅自拆修，应立即报告指导老师。 4．学生应积极动手操作，并独立完成实验和实验报告。 5．实验完毕，要切断电源，清理实验场地，将所用的实验设备整理 好，放回原处，认真书写实验报告。经教师同意后，方可离开实验室。 6．凡不遵守实验守则经指出而不改正者，教师有权停止其实验。若 情节严重，对实验设备造成损坏者，应负赔偿责任，并给予处分。 7．在规定的时间内未能完成实验者，须经实验室领导同意，或延长 实验时间或另行安排补做时间。 实验报告的内容和要求 撰写实验报告是训练学生撰写科技论文的能力的环节。实验报告是考 核学生学习成绩和评估教学质量的重要依据。 学生对所做的实验应该做到原理清楚， 方法和操作步骤正确， 实验数 据比较可靠，并且会处理实验数据。 实验报告应由每个学生独立完成， 用钢笔、炭素笔或圆珠笔工整书写。 报告内容要层次清楚，文字简明通顺，图、表清晰，符合汉语规范和法定 计量单位。 实验报告一般包含下列 7 项内容 1．实验名称； 2．实验目的： 3．测量原理； 4．实验步骤； 5．实验记录； 6．实验数据处理及相应结论； 7．回答思考题。 实验一 微动工作台的驱动控制 实验目的：掌握微动工作台的驱动控制的基本原理和基本方法；实验内容：①微动工作台的驱动与控制，②微动工作台的应用； 实验方法：利用专用驱动 — 控制电路对微动工作台进行驱动与控制； 实验要求：学会驱动 — 控制电路的使用方法，对微动工作台的用途有所了解。 一、 微动工作台 工作台的组成：基本上是由工作台滑板、直线移动导轨、传动机构、驱动源、控制装置和位移检测器等组成。 微位移机构 (或称微动工作台 )由微位移器和导轨两部分组成， 根据导轨形式和驱动方式可分成五类： ①柔性支承、压电或电致伸缩微位器驱动； ②滚动导轨，压电陶瓷或电致伸缩微位移器驱动； ③滑动导轨，机械式驱动； ④平行弹性导轨，机械式或电磁、压电、电致伸缩微位移器驱动； ⑤气浮导轨，伺服电机或直线电机驱动 二、 微动工作台的驱动控制 微动工作台是柔性支承、压电驱动器驱动。 压电陶瓷器件的结构及其特点见表1-1所示。 图 1-1 微动工作台结构简图 名称  表 1-1 示意图  压电陶瓷器件的结构及其特点 位移公式  特点 L d33 nU 采用多片压电陶瓷 叠堆型 其中： 片粘结而成，可以承受 压电陶 d33 ：应变系数（ m/V ） 很大的压力，刚度大， 瓷 但承受拉力的能力有 n ：压电陶瓷片个数 限。 U ：驱动电压（ V ） 实验系统： 实验系统的构成如图 1-2 所示。其中驱动控制电源基于 PC 机 ISA 总线，由在线 可编程数字合成信号源和功率放大器构成，是一个开环结构。信号源产生的驱动信号波形输出至功率放大器进行功率放大，输出作为压电驱动器的驱动信号。具有三路输出，既可输出连续的周期波形，又可输出单次的周期波形。 示波器 计算机 驱动控制电源 工作台 测微仪 图 1-2 实验系统 进行驱动时，首先操作波形数据生成模块生成波形数据。波形数据是由驱动波 形中的 1000 个采样码组成，由于波形数据存储单元为 12bits ，因此波峰处的值总被映射成 4095（ 212），其他值依此映射为 0~4095 间的值。生成波形数据的方法包括 函数表达式法、加速度曲线法及直接输入数据三种方法；然后，利用波形数据写入模块将生成的波形数据在线写入电路实现输出波形的在线编程，存储波形数据的元件为 E2PROM ，可以保证断电后数据不会丢失；下面进入波形发送模块，该模块界面如图 1-3 所示。 发送参数主要包括波形输出的频率和电压。发送参数还包括相位和步行方式。相位主要用于多路发送时，决定各路间的相位差。步行方式可分为连续发送和单步发送两种。采用单步发送方式时应输入发送的次数，在发送完指定的次数后会自动停止。 图 1-3 波形发送模块界面 测微仪采用 MDS 系列多量程 LVDT 测微仪。 MDS 系列多量程 LVDT 测微仪是适用于多种测量范围的高精度微位移检测仪，可以实现微米级直至纳米级的高精度 微