超精密奈米加工技术之进展.docVIP

機械月刊 90年8月號專輯 PAGE 1 超精密奈米加工技術之進展、應用與未來趨勢 陳政雄 壹、簡介 奈米加工技術（包括超精密加工、聚焦離子束加工、原子力顯微鏡加工等等）是未來加工技術之重要發展方向，而在這些奈米加工技術中發展最成熟並已經在工業界廣泛使用者首推超精密加工技術(ultraprecision machining)。超精密加工技術主要是利用鑽石車削、鑽石銑削或鑽石研磨等切削加工技術來達到次微米（10-7-10-8）級形狀精度和奈米（10-9）級表面粗糙度的加工精密度。超精密切削加工在工業界之應用已經有近數十年，目前以軟性金屬鑽石車削和硬脆性材料延性研磨兩種加工技術為主，並在資訊、通訊、光電與醫療器材上等超精密零件製造上扮演著關鍵的角色。由於超精密加工之材料去除率極小，故在工業界之應用目前以非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁碟機讀寫頭、磁碟基板加工、半導體晶圓切割等需要奈米級加工精度的少量加工場合為主。 由於鑽石刀具的碳原子和鋼材的碳原子在切削高溫下容易產生化學性磨耗，因此超精密鑽石車削與鑽石銑削在切削鋼材時的刀具磨耗問題，一直是超精密加工技術的重要研究課題。根據資料顯示，由於未來對於省能源與低污染的綠色環保汽車之要求，汽車工業對於未來的傳動件的重要零件所需的表面粗糙度必須達到10nm的水準。由於這些精密傳動零件的材料都為硬化鋼材，並且需要量極大，這些零件之加工目前以精密研磨為主，但未來則朝向具更高效率與彈性的奈米級硬車削技術（nanometer hard turning）。超精密加工面對此項新的挑戰除了必須克服鑽石刀具在切削硬化鋼材時的磨耗問題外，也必須擺脫目前材料去除率極小的限制，而以百倍於現時的材料去除率的加工速度才可變為一個經濟的量產技術，而由於材料去除率增加數十倍，機台結構、主軸/刀具系統和傳動系統之剛性也必須提高。另外，隨著光電、通訊與資訊產品之產值日增，工業界對於奈米級表面精度的硬化鋼材精密模具之需求也日增，目前該類超精密模具也是以磨削為主，而未來也是朝向具更高效率與彈性的奈米級硬銑削技術（nanometer hard milling）。 為了達成上述之目標，幾個世界知名的超精密加工研究重鎮如德國Aachen大學、日本Kobe大學、英國Cranfield University、美國的University of North Carolina At Charlotte、National Institute of Standard and Technology和Georgia Institute of Technology等等紛紛投入此研究領域，最近幾年幾項新技術的開發已經使得硬化鋼材之高材料去除率車削與銑削的目標逐漸露出曙光，這些技術包括高剛性超精密工具機、奈米刀具材料、超音波振動輔助切削技術等等。以下個章節將針對超精密加工的最新發展趨勢進行報導。 貳、超精密加工之發展歷史 超精密加工機之發展與應用約可以分為下面幾期[1-12]： 技術草創期（1960-1980）:從1966 年起，美國的Union Carbide公司的鑽石車床、荷蘭Philips公司的超精密鑽石車床和美國Lawrence Livermore Laboratories的超精密鑽石車床陸續被發表，但其應用仍極限在少數的大公司與研究單位的實驗階段，並以國防用途或科學研究用途的產品加工為主，例如雷射核融合的軟質金屬非球面反射鏡的加工。鑽石車床主要用於銅和鋁等軟性金屬之加工，這是一個兼顧精度與加工效率的優質加工技術，也可以加工較複雜之工件形狀，但是只能是軸對稱的的工件例如非球面鏡。 民間工業應用初期（1980-1990）：在1980年代，美國政府推動數家民間公司如Moore Special Tool和Pneumo Precision公司開始超精密加工機商品化，而日本數家公司如Toshiba和Hitachi與歐洲的Cranfield University等也陸續推出產品，這時的應用已經進入一般民間工業光學元件商品的製造。但此時的超精密加工機仍屬高貴而稀少之機器，並以專用機形式訂做。在這一期，除了加工軟性金屬的鑽石車床外，可加工硬質金屬和硬脆性材料的超精密鑽石輪磨和精密研磨技術也被開發出來。在這一期間中，對於硬質金屬和硬脆性材質的鑽石輪磨與精密研磨技術也被開發出來，此技術重點是使用高剛性機台以極小切深可以對脆性材料進行延性研磨（圖一）[4]，因此可以對硬質金屬和脆性材料研磨出奈米級表面粗糙度，當然其加工效率和形狀之複雜性無法和鑽石車床相比。 民間工業應用成熟期（1990-2000）：從1990起，由於汽車、能源、醫療器材、資訊、光電和通訊等產業的蓬勃發展，超精密加工機之需求急遽增加，在工業界之應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片