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江苏林洋新能源 PECVD 培训教材 目 录 ? 定义 ? PECVD 原理 ? PECVD 设备简介 ? PECVD 日常维护 ? PECVD 安全 定 义 PECVD 定义 P lasma E nhanced C hemical V apor D eposition 等离子增强的化学气相沉积 定 义 PECVD 是借助微波或射频等使含有薄膜组成原 子的气体电离，在局部形成 等离子体 ，而等离子 化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积 出所期望的薄膜。 定 义 等离子体 ：气体在一定条件下受到高能激发，发 生电离，部分外层电子脱离原子核，形成电子、 正离子和中性粒子混合组成的一种形态，这种形 态就称为等离子态。 定 义 1981 年， SiNx 开始应用于晶体硅太阳电池 SiNA 是德文 Silizium （硅） -Nitrid （氮） -Anlage （处理系统）的缩写。它是专门利用 PECVD 过程 来沉积氮化硅薄膜的系统。 生产公司： RothRau AG 等离子产生方式