弹性互连技术.docVIP

弹性互连技术 近LI,欧洲跨院校微电子中心（位于比利时的Leuven）和根特大学（位于比利时根特）的 研究人员设计并制造岀了一种弹性互连电路，这种电路可以实现伸缩率达50%?100%,而 不影响电阻值。该研究是近期开始的SWEET （嵌入纺织物的可伸缩可洗涤电了电路）项目 的一部分，科学家们希望所研究的可伸缩互连技术能够形成具有弹性的、可洗涤的电了电路 和器件，以便将其植入皮肤下或者集成到衣服和其他织物内。 “对于生物医学和纺织类应用而言，如果电了电路不仅可以弯曲，而且具有弹性，那么使用 者的舒适稈度就会大大增强。”研究人员说，“生物医学应用主要包括在皮肤下植入电子器 件。”弹性点到点互连技术主要是一个基于二维弹簧形金属线的互连器件模型，嵌在一种高 弹性的树脂薄膜内。 通过在一种弹性基础材料上嵌入马蹄形的金属线可以实现可伸缩式互连 实现方法 将感光耐蚀膜通过旋转喷涂的方式涂在铜箔上，再通过马蹄形光掩模板刻蚀出图案，这种形 状相比其他形状（例如椭圆形）能够减少46%的拉力。另外，将每条导线分成四条并行导 线的方式也增大了电路的弹性，不影响性能。 在电路表面电镀一层4pm厚的黄金，然后镀一层2pm）?的金属银，以便将端接线焊接在互 连线两端的PAD上。然后，将这种互连电路嵌入一种0.5mm厚的弹性聚合物内，就可以 得到3cm长的互连线路。 结束语 实验过稈屮，研究人员通过拉伸这种互连线路，使其金属线断裂而出现电气失效。研究人员 在两种角度下测试了这种互连线路的弹性——0° （HO）和30。（H30）。最好的测试结果 出现在一个H30样品上，它在失效前能够从3cm拉伸到6cm,拉伸了 100%。 研究人员己经实现了 50%以上的可能伸缩性，还验证了嵌入其他元件的可能性 一般来看，H30样木（马蹄形）比H0实验样木具有更好的性能，它能够达到72%的平均 拉断伸长率，而H0样木只有52%。值得注意的是，在所有失效情况下，当拉伸率恢复0% 时，互连线路的电导值都能够恢复。